판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9271616

RUDOLPH/AUGUST AXI-935는 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 운영 설계 데이터의 결함을 빠르고 효율적으로 감지하도록 설계되었습니다. 이 자동 시스템은 고급 옵틱 (optic), 이미징 (imaging), 자동화 (automation) 기술을 사용하여 검사 중인 장치의 전기적 특성과 물리적 레이아웃 모두에서 광범위한 결함을 확인합니다. 8 월 AXI-935 는 최첨단 비전 센서를 사용하여 이미지를 직접 검사하지 않고도 광범위한 문제를 정확하게 감지할 수 있습니다. 사용자 친화적인 비주얼 인터페이스 (Visual Interface) 와 직관적인 메뉴 옵션의 도움을 받아 사용자 정의 검사 (Custom Inspection) 매개변수를 빠르게 설정할 수 있습니다. 그런 다음 이러한 매개변수를 사용하여 연결 누락, 부적절한 중첩, 기타 설계 관련 문제 등의 문제를 감지할 수 있습니다. RUDOLPH AXI 935에는 패턴 결함을 감지하고 식별 할 수있는 고급 패턴 인식 알고리즘이 제공됩니다. 이 알고리즘은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 모두에서 가장 미묘한 결함조차도 감지하기에 충분히 강력합니다. 또한 다른 생산 프로세스에서 발생하는 결함이있는 패턴을 감지하고 분류 할 수 있습니다. 또한 AXI 935 는 결함을 감지할 수 있을 뿐 아니라, 검사 매개변수를 설정하기 위한 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이러한 매개변수에는 임계 피쳐 크기, 오버레이 정밀도, 임계 거리, 모서리 해상도, 명암비 향상 등이 포함됩니다. 이러한 매개 변수를 사용하면 검사할 특정 장치에 맞는 사용자 지정 설정 (customized settings) 을 만들 수 있습니다. AUGUST AXI 935에는 2 개의 웨이퍼 표면 검사 시스템도 장착되어 있습니다. 이러한 시스템 중 하나는 특허를받은 웨이퍼 분석기 (Wafer Analyser) 로, 검사 중에 단단한 피치 및 기타 중요한 설계 매개변수를 측정 할 수 있습니다. RUDOLPH/AUGUST AXI 935는 생산 기판으로 여러 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계되었으며, 기판 두께를 측정 할 수도 있습니다. RUDOLPH AXI-935의 강력한 머신 비전 (machine vision) 도구를 사용하여 설계 관련 이상을 검사할 수도 있습니다. 직관적인 소프트웨어는 선 모서리 거칠기 (line edge roughness) 를 식별하고, 영역 각도를 계산하고, 다른 기능을 측정할 수 있는 일련의 고급 도구를 제공합니다. AXI-935 는 강력하고 다양한 마스크/웨이퍼 (wafer) 검사 시스템으로, 광범위한 설계 문제를 신속하고 정확하게 감지할 수 있습니다. 고급 기술 (advanced technologies) 과 직관적인 메뉴 옵션을 사용하여 매개변수를 빠르게 조정하여 결함을 최하위 (minute level) 까지 감지할 수 있습니다.