판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-935 #9097165
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RUDOLPH/AUGUST AXI-935는 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 검사 장비입니다. 고속 대량 생산 및 신속한 검사를 위해 설계된 풀 필드 레이저 스캐너입니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 결함 감지를 개선하는 데 도움이 되는 고유한 광학 및 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이 장치는 고성능 8 축 선형 모터 머신 (Linear Motor Machine) 으로 구동되며 마스크와 웨이퍼의 결함을 정확하게 스캔하고 감지 할 수 있습니다. 이를 통해 검사 과정에서 결함을 감지하는 데 걸리는 시간을 단축하고 정확도를 높일 수 있습니다 (영문). 광학 줌 렌즈는이 도구의 주요 장점 중 하나입니다. 즉, 단일 초점 길이를 제공하며 원래 확대/축소 레벨의 1000배까지 확대/축소할 수 있습니다. 이것은 중요한 마스크 기능을 검사하는 데 가능한 최고 해상도를 제공합니다. 자산은 석판화 도구 및 제품에 대한 고속 대량 검사를 수행하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작업을 수행할 수 있습니다. 이 모델에는 빠른 데이터 액세스를 허용하는 제로 블리드 (zero-bleed) 메모리 기능도 있습니다. 장비에는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 표면에 존재하는 모든 결함을 검사하고 감지하는 데 필요한 모든 기능이 있습니다. 이 시스템에는 자동화된 결함 표시 장치 (automated defect marking unit) 가 있어 정확하고 정확한 결함 측정이 가능합니다. 채워지지 않은 피쳐와 겹쳐진 피쳐를 포함한 모든 유형의 결함을 감지할 수 있습니다. 마지막으로, 8 월 AXI-935 에는 고급 레이저 검사 장치 (Advanced Laser Inspection Machine) 가 통합되어 마스크 및 웨이퍼 표면의 결함을 검사하고 감지하는 데 걸리는 시간이 단축됩니다. 이 도구는 랩 장비 (Lab Equipment) 및 자동 검사 시스템에 쉽게 연결할 수 있으며, 빠르고 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. RUDOLPH AXI 935는 안정성, 고성능, 고효율 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 리소그래피 툴링 및 제품에 대한 완벽한 품질 관리 기능을 제공합니다.
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