판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-9300 #9257705

RUDOLPH/AUGUST AXI-9300 은 첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 최첨단 광학, 전자, 기계 공학을 결합하여 시장에서 가장 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션 중 하나를 제공합니다. 이 시스템에는 원격 중심 광학 장치 (Telecentric Optics Unit) 가 장착되어 있으며, 기능 평가를 위해 최대 2.5 미크론 (Micron) 의 기능을 통해 반복 가능하고 일관된 이미징 결과를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 기계는 다른 검사 솔루션에 의해 누락 될 수있는 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 8 월 AXI-9300 은 고도로 적응할 수 있는 소프트웨어 플랫폼을 제공하며, 이는 검사 대상 애플리케이션의 요구에 부합합니다. 이 도구는 광학 필드 (optical field) 와 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 간의 자동 정렬을 통해 일관된 성능을 제공하도록 설계되어 감광재가 항상 동일한 광학 영역에 이미지화되도록 합니다. 즉, 이미지의 신뢰성이 높고, 자산을 사용할 때마다 일관성을 보장합니다. 또한 RUDOLPH AXI-9300 모델은 자동화된 프로세스 최적화 기능을 제공하여 장비가 최적의 이미징 성능을 위해 보정되도록 합니다. 이 프로세스 최적화 (process optimization) 는 고급 알고리즘을 사용하여 시스템이 작동할 때마다 최상의 이미징 매개변수를 사용합니다. AXI-9300 은 독보적인 웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping) 소프트웨어로 이미징 성능을 더욱 향상시켜 Wafer 에 위치한 기능 간의 상관 관계를 분석할 수 있게 해 주며, 추가 분석이 필요할 수 있는 이상을 강조합니다. 이 소프트웨어에서는 사용자가 종종 있을 수 있는 결함을 신속하게 감지할 수 있습니다 (각 "웨이퍼" 를 수동으로 검사할 필요 없음). 또한 RUDOLPH/AUGUST AXI-9300은 보조 감지 장치도 제공합니다. 이 자외선 광선 검사 (ultraviolet light-based inspection) 과정을 통해 스크래치 (scratch) 와 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. 그렇지 않으면 광학 검사 과정에서 볼 수 없습니다. 마지막으로, 8 월 AXI-9300 은 사용자 효율성을 극대화하기 위해 설계된 여러 가지 성능을 제공합니다. 이러한 기능에는 샘플링된 웨이퍼 이미지를 빠르게 액세스하고 분석 할 수있는 데이터 로깅 머신 (data logging machine) 이 포함됩니다. 또한, 이 도구는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 사용자가 쉽게 자산을 제어하고 최상의 이미징 매개변수를 선택할 수 있습니다. 또한, 사용자는 가장 최적의 결과를 위해 이미징 설정을 빠르게 조정하기 위해 프로세스 중 이미징 (Imaging) 매개변수를 최적화할 수도 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH AXI-9300 Mask & Wafer Inspection Model은 최신 기술이 적용된 고급 장비로, 안정적이고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계되었습니다. AXI-9300 은 최첨단 Optic, 자동화된 프로세스 최적화, 고급 웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping), 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 다용도 및 신뢰성을 갖춘 통합 솔루션을 제공합니다.