판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9257476

RUDOLPH/AUGUST AXI-930은 효과적인 결함 감지 및 도량형을 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 단일 단위로 고해상도 이미지 획득, 이미징 확대 (Imaging Magnification), 데이터 검사 (Data Inspection) 기능을 제공하여 반도체 재료의 품질을 제어할 수 있습니다. 모듈식 설계는 품질 보증 및 프로세스 제어를 위한 효율적인 도구입니다. 8 월 AXI-930 은 최대 7 배의 광학 확장성을 갖춘 고정밀 (High-Precision) 쿼츠 광학 장치를 장착하여 다양한 웨이퍼 크기를 검사하는 데 적합합니다. 또한 다양한 이미지 처리 기능을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 사용자 정의 결함 검토를 수행할 수 있습니다. 고급 이미지 최적화 도구 (Advanced image optimization tool) 를 사용하여 연산자는 정확한 결함 감지에 가장 적합한 이미지를 선택할 수 있습니다. RUDOLPH AXI 930에는 높은 정확도의 이미지를 캡처하기위한 고해상도 CCD 카메라가 포함되어 있습니다. 또한 LED (Light-Emitting Diode) 조명기를 사용하여 이미징 영역의 균일하고 정확한 조명을 제공합니다. 이 LED는 동적 범위가 크므로, 최소한의 그림자로 정확한 측정이 가능합니다. 자동 조정 (auto-calibration) 기능은 설정 시간을 줄이고 자동화된 결함 분류 알고리즘을 통해 프로세스 평가 속도를 높입니다. 또한 자동 레티클 보상은 저렴한 정렬 및 기능 포지셔닝을 보장합니다. 이 도구를 사용하면 웨이퍼 인증을위한 측정 데이터를 통합 할 수 있습니다. 앞서 언급한 기능 외에도, 8 월 AXI 930 은 MDP (Integrated Metrology Data Package) 를 제공하며, 여기에는 포괄적인 측정 및 분석 소프트웨어 툴이 포함되어 있습니다. 이 포괄적인 MDP 도구를 사용하면 추적 가능한 프로세스 관리 매개변수와 컨트롤을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH/AUGUST AXI 930 Mask and Wafer Inspection Asset은 모든 반도체 제작, 실험실, 품질 관리 또는 실험실 환경에 완벽한 도구입니다. 강력한 기능을 갖춘 이 모델은 탁월한 이미징 결과와 정밀 측정 (precision measurement) 을 제공하여 효율성을 극대화합니다.