판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9253828
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RUDOLPH/AUGUST AXI-930은 고품질 표준을 준수하는 반도체 장치의 제작자를 보장하기 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 리토그래피 테스트 결과를 요약하기 위한 첨단 이미지 처리 (advanced image processing) 기술을 갖춘 첨단 광학 이미징 시스템으로 구성되어 있습니다. 8 월 AXI-930 은 최대 8 인치 크기와 최대 10 배 해상도의 복잡한 디바이스 유형을 처리할 수 있습니다. 검사의 민감성과 정확성을 제공합니다. 고급 광학과 혁신적인 초점 외 탐지 장치 (Out-of-focus Detection Unit) 를 갖추고 있으며, 크기가 1/100/1 밀리미터까지 작게 감지할 수 있으며, 낮은 해상도에서도 정확하게 식별할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH AXI 930 은 이미지 데이터를 자동으로 평가하고 결함 위치와 크기에 대한 포괄적인 요약 보고서를 작성하는 강력하고 사용하기 쉬운 소프트웨어 (예: 스캔만으로 감지할 수 있는 결함 포함) 를 제공합니다. 또한, 동일한 로트에서 여러 웨이퍼에 걸쳐 결함 위치를 신속하게 분석 할 수 있습니다. 기계에는 자동 측정, 결함 분석 기능 (automated rule checking tool) 과 같은 기능이 있습니다. 이 자산은 반복성과 고감도를 제공하는 패턴 모델 (pattern model) 과 같은 문제를 식별 할 수 있습니다. 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스, 빠른 측정 주기 시간, 단일 클릭 (single-click) 데이터 획득을 통해 AXI-930 은 대규모 리소그래피 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 효율적이고 정확하며 경제적인 솔루션입니다. 이 모델은 또한 대형 터치 패널 디스플레이 (Large Touch Panel Display) 를 통해 온라인 도움말 메뉴에 쉽게 액세스할 수 있으며, 자동 검사 장비를 제어하기 위해 완벽하게 최적화된 GUI를 제공합니다. 또한 8 월 AXI 930 은 뛰어난 다국어 호환성을 제공하므로, 국제 고객이 자사 언어로 시스템을 사용하여 편리하게 사용할 수 있습니다. 마지막으로 RUDOLPH/AUGUST AXI 930은 저렴한 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 이 장치는 1 분 이내에 자체 보정할 수 있으며 1 년 제조업체의 보증으로 뒷받침됩니다.
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