판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #9107569

RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask & Wafer Inspection Equipment는 이미징 기술과 정교한 패턴 인식 소프트웨어를 결합하여 반도체 마스크와 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 검사합니다. 고급 광/동작 제어 기술을 활용하여 8 월 AXI-930 은 전체 웨이퍼 또는 마스크에서 현미경 시야당 최대 9 개의 "다이 사이트" 필드를 검사합니다. RUDOLPH AXI 930의 자동화 지원 수정으로 다양한 공장 자동화 시스템에 통합 할 수 있습니다. AXI 930에는 펄스 360- ° 레이저 다이오드 라인 스캔 시스템, 시각 검사 및 금속 산화물 반도체 MOSFET (Field Effect Transistor) 전류 공급 장치가 장착되어 있으며, 사용자가 표면 및 가장자리 검사를위한 단일 기계를 제공합니다. 또한 RUDOLPH/AUGUST AXI 930 은 다양한 배율 드라이브 (Magnification Drive) 모듈을 갖추고 있으며, 개체의 배율에 따라 이미지 배율을 최소 40X 에서 최대 500X 로 자동 이동할 수 있습니다. AXI-930 의 내장형 드리프트 (drift) 보상은 수동 처리 (manual handling) 또는 웨이퍼 위치 (wafer position) 의 영향 여부와 상관없이 최적의 이미지 포커스를 유지합니다. 이더넷 연결 PC에서 실행되도록 설계된 이 툴의 Image Acquisition and Processing Driver 소프트웨어는 전체 현장 이미지 획득, 디스플레이, 이미지 처리 기능을 제공합니다. 이미지는 단일 이미지 또는 여러 이미지 비트맵으로 저장할 수 있습니다. 두 가지 버전으로 제공되는 8 월 AXI 930 의 패턴 인식 모듈은 FDTD (Finite Difference Time Domain) 및 Hough 변환 알고리즘을 모두 지원하며, 반도체 디바이스의 결함을 감지하기 위한 여러 필터링 및 소음 감소 알고리즘을 갖추고 있습니다. 루돌프 AXI-930 (RUDOLPH AXI-930) 은 또한 실시간 이미지 처리 및 결함 인식 (Defect Recognition) 기능을 제공하여 에셋이 결함 속성의 변화에 신속하게 반응 할 수 있습니다. 또한, 메타 캠 (MetaCam) 소프트웨어 응용 프로그램은 각 검사 주기의 결과를 자동으로 문서화하면서 다양한 형식으로 인쇄 가능한 결함 이미지를 생성 할 수 있습니다. 요약하면, RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask & Wafer Inspection Model은 정교한 이미지 분석 및 패턴 인식 소프트웨어와 고급 모션 컨트롤 기술을 결합하여 반도체 웨이퍼 및 마스크의 다양한 결함을 빠르고 정확하게 식별하고 찾습니다. 이 장비에는 가변 확대 드라이브, 실시간 이미지 처리 기술, 빠른 패턴 인식 시스템, 풀 필드 이미지 획득 소프트웨어가 포함됩니다. 8 월 AXI-930 은 반도체 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 의 결함을 파악하고 측정하는 고급 툴입니다.