판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST AXI-930 #293633971

AUGUST Technologies의 RUDOLPH/AUGUST AXI-930 Mask and Wafer Inspection Equipment는 반도체 웨이퍼 및 마스크 기판을 정확하게 검사하고 분석하기 위해 설계된 자동 검사 시스템입니다. 고급 광학 장치는 입자 수준 및 기타 표면 결함을 빠르고 정확하게 검사합니다. 8 월 AXI-930 은 최소 30 미크론의 스캔 크기로 최대 6 개의 결함 크기를 감지할 수 있습니다. 이 기계는 전체 웨이퍼 전체에 균일 한 결함 적용 범위를 제공하도록 설계되었으며, 최대 웨이퍼 크기는 200mm (wafer) 입니다. 초당 1,000 프레임의 풀 프레임 이미지를 캡처 할 수있는 6.1 메가 픽셀 (true color camera) 이 장착되어 있습니다. RUDOLPH AXI 930에는 직관적이고 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 가 있는데, 이를 통해 운영자는 사전 설정 라이브러리에서 선택하거나 사용자 지정 사전 설정을 만들 수 있습니다. 이러한 설정에는 이미지 품질 조정, 결함 레이아웃 분석, 공구 제어 기능 (Control tool function) 에 사용할 수 있는 필터 및 알고리즘이 포함됩니다. 또한 GUI를 사용하면 AOI (Select Area of Interest) 및 테스트 패턴뿐만 아니라 이미지를 검토하고 주석을 달 수 있습니다. 검사 에셋에는 자동 웨이퍼 로딩/언로딩, 이미지 스티칭, 3D 패턴 수정 모델, 자동 포커싱 (automated focussing) 과 같은 작업을 보다 간편하게 수행할 수 있는 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 고급 광학 기술은 입자 및 100 나노미터 이상의 결함을 감지 할 수 있도록 더 큰 시야를 허용합니다. RUDOLPH AXI-930 은 여러 개의 마스크 및 웨이퍼 기판을 수용할 수 있으며, 자동 기판 정렬 기능을 제공하여 여러 기판을 빠르고 정확하게 등록 할 수 있습니다. 또한 특허를 획득한 교정 (calibration) 기능이 포함되어 있는데, 이 기능은 제 1 및 제 2 시야 사이의 미세 정렬을 자동으로 수행하여 운영자의 개입을 최소화합니다. 고급 옵틱, 직관적인 사용자 인터페이스, 다중 기판 지원 및 자동 정렬 기능을 갖춘 RUDOLPH Technologies의 RUDOLPH/AUGUST AXI 930 Mask and Wafer Inspection Equipment는 반도체 웨이퍼 및 마스크 검사를위한 탁월한 선택입니다. 반도체 제조업체가 입자 수치 (particle level) 와 다른 표면 결함 (surface defect) 의 빠르고 정확한 검사 결과를 찾는 데 이상적인 선택이다.