판매용 중고 RAVELLC NM450 #9358671

RAVELLC NM450
ID: 9358671
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2009
Photomask inspection system, 6" 2009 vintage.
RAVELLC NM450은 높은 처리량과 높은 해상도를 위해 설계된 고급 DUV 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 반도체 프로세스의 웨이퍼 레벨 및 싱글 다이 이미징을 효과적으로 수행하며, 정확도가 매우 높습니다. 이 시스템은 신호 소음 수준을 최적화하고 현장 범위를 최대화하고 결함을 미리 밝히기 위해 고감도 5 단계 확대/축소 (zoom) 광 장치를 갖추고 있습니다. 틸트 앤 시프트 (tilt-and-shift) 단계와 결합 된 5 배 줌 기능도 전체 칩 필드에서 향상된 감지 감도를 제공합니다. 또한, 매우 고해상도 모드는 작은 피치 결함을 식별하고 분석하는 데 도움이됩니다. 머신은 또한 검사 프로세스에서 중요한 데이터를 자동으로 추출, 저장, 표시함으로써 워크플로우 효율을 지원하는 내장 (BIST) 알고리즘을 제공합니다. 이 도구에는 매우 복잡한 웨이퍼 (wafer) 에서도 빠르게 다이 위치를 식별할 수 있는 고속 정렬 에셋 (alignment asset) 이 장착되어 있어 실수가 없습니다. 또한, 멀티 존 (multi-zone) 스캐닝 기능은 특정 프로세스 요구 사항에 따라 zone 수와 Alignment Scan Resolution 을 최적화할 수 있게 함으로써 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 따라서 불필요한 테스트 주기를 제거하고 제조 시 설정 시간을 간소화할 수 있습니다. NM450에는 혁신적인 IMDS (Integrated Mura Detection Model) 도 있습니다. 이 고급 기술은 고급 이미지 캡처 (advanced image capture), 자동화된 알고리즘 (automated algorithm) 및 초고속 컴퓨터 처리 (ultra-fast computer processing) 의 조합을 사용하여 이 시점까지 불가능한 방식으로 거부를 식별하고 거부합니다. 또한, 이 장비는 완전히 통합된 사후 검사 검토 모듈 (Post-inspection Review module) 및 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 구현하여 문제가 있는 결함을 신속하게 파악하고 해결할 수 있도록 지원합니다. 전반적으로 RAVELLC NM450은 강력하고 신뢰할 수있는 Mask & Wafer Inspection System으로 반도체 생산에 탁월한 성능, 정확성 및 속도를 제공합니다. 확장성이 높으며, 사용자가 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 설정을 사용자 정의할 수 있으며, 직관적인 인터페이스 (interface) 와 고급 자동 (automated) 기능을 통해 사용이 간편하고 비용을 절감할 수 있습니다. NM450 은 뛰어난 정확도, 속도, 비용 효율성을 자랑하는 반도체 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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