판매용 중고 QUATEK 2PROF35220 #9302545

QUATEK 2PROF35220은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 정밀 정렬, 고급 이미지 처리, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 대용량 처리량을 제공합니다. 복잡한 패턴을 빠르게 검사하고 정확하고 신뢰할 수있는 2D 차원 (I-D) 패턴 시스템이 특징입니다. 이 장치는 확대/축소 된 하위 필드 영역 (sub-field area) 아키텍처에서 작동하여 넓은 작업 공간에서 정확한 정확성과 빠른 속도를 제공합니다. 이 기계에는 2 차원 이미지 센서 어레이 (여러 방향의 이미지 센서 어레이) 가 포함되어 있으며, 검사 프로세스 동안 전체 커버리지를 위해 다른 확대/축소 레벨에서 이미지를 캡처합니다. 이렇게 하면 마스크 및 웨이퍼를 정확하고 빠르게 검사할 수 있습니다. 패턴화 소프트웨어는 원 (circle), 사각형 (rectangle), 평행사변형 (parallelogram) 등 다양한 모양을 하나의 스캔으로 인식할 수 있는 완전 자동 검사 에셋으로 설계되었습니다. 모델에는 마스크 또는 웨이퍼를 검사하는 색상 오버레이 피쳐도 있습니다. 이 모드에서 사용자는 투명 (transparent) 레이어와 불투명 (opaque) 레이어 사이를 전환하고 다른 수준의 대비를 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 다른 제조 단계를 검사할 때 정밀도가 높아집니다. 또한, 장비는 마스크, 웨이퍼 (wafer), 오버레이 (overlay) 의 결함을 자동으로 분석하여 결함을 쉽게 찾고 해결할 수 있습니다. 시스템에는 각 검사 실행에 대한 센서 매개변수 (parameter) 와 확대/축소 (zoom) 레벨을 자동으로 조정할 수 있는 자체 교정 도구가 장착되어 있습니다. 따라서 여러 부품과 배치 간에 일관된 성능이 보장됩니다. 이 장치에는 데이터 보고서를 생성하는 후처리 소프트웨어와 결과를 시각화하는 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 도 포함되어 있습니다. 고속 스캔 알고리즘을 사용하여, 기계는 스캔 매개 변수에 따라 시간당 최대 7.2k 마스크 또는 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 더 큰 실행의 경우, 최대 8개의 구성 가능한 헤드가 있는 멀티 헤드 에셋 (multi-head asset) 으로 공구를 구성하여 처리량을 높일 수 있습니다. 모델의 구성은 견고하며 지속적인 처리량을 위해 설계되었습니다. 이는 확장된 실행에 대한 신뢰성을 보장합니다. 이 장비에는 유지 보수 및 업그레이드 용이성을 위해 DSS (내장 서비스 포트) 도 있습니다. 전반적으로 2PROF35220은 모든 마스크 및 웨이퍼 검사 요구에 이상적인 선택입니다. 유연성이 뛰어난 설계와 처리량을 갖춘 이 시스템은 다양한 구성 요소를 신속하고 정확하게 검사할 수 있습니다 (영문).