판매용 중고 PRISM VIT-128 #293587219

PRISM VIT-128은 KLA-Tencor가 개발 한 PRISM 시리즈의 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로 제작 (fabrication of integrated circuits) 에 사용되는 모든 범위의 마스크와 기판을 검사할 수 있으며, 특히 초고속 (ultra-high) 처리량을 지원하도록 설계되었습니다. VIT-128 의 강력한 검사 기능은 VIT-128 의 독보적인 기술 조합에 의해 가능해집니다. 코어에서, 이 장치는 고해상도 4 중 나노 스팟 프로젝션 머신을 사용하여 0.1 마이크로 미터 미만의 감지 해상도를 제공합니다. 이 도구는 1.3 메가픽셀 카메라와 함께 마스크 및 웨이퍼 결함의 투영 (projection) 및 백라이트 (backlit) 이미지를 실시간으로 검사할 수 있습니다. 또한, 자산은 시간당 최대 100K 웨이퍼의 인상적인 검사 속도와 월 100 만 웨이퍼 이상의 높은 처리율을 나타냅니다. PRISM VIT-128은 FFT (Variable Focus 4-Channel Imaging) 및 SRS (Spatial Resolving Scatterometry) 와 같은 특허 이미징 기술을 활용하여 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수있는 검사 결과를 제공합니다. 이것은 결함을 감지하기 위해 모델의 정확도와 민감도를 향상시키고, 따라서 거짓 (false-positive) 탐지 속도를 줄입니다. 또한, 이 장비는 브라이트필드 (brightfield), 다크필드 (darkfield) 및 감쇠된 밝기 조명 모드를 사용하여 마스크와 웨이퍼 패턴을 더 잘 시각화하여 다양한 레이어와 기판을 검사할 수 있습니다. VIT-128은 강력하면서도 유연한 자동, 수동 결함 검토를 제공하여 철저하고 포괄적인 분석을 가능하게 합니다. XYZ 현미경을 사용한 강력한 웨이퍼 기반 검토 (wafer-based review) 를 포함하여 복잡한 장치를 정확하게 검사하고 여러 결함 유형의 정확한 특성을 확인할 수 있습니다. 또한 KLA-Tencor의 DOM (Defect Origin Mapping) 기술을 통해 결함과 그 기원을 파악할 때 보다 정확한 제어 및 정확성을 보장합니다. 마지막으로, 이 장치는 KLA-Tencor의 TotalPrint ™ 이미징 머신을 사용하여 결함 지형에 대한 실시간 액세스를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 결함 이미지를 캡처, 저장하고 이를 사용하여 분석, 검토할 수 있습니다. 토탈 프린트 (TotalPrint) 의 고해상도 이미지 (high resolution image) 를 사용하면 다른 검사소 간의 결함 탐지를 비교하여 추가 엔지니어링 검증을 수행할 수도 있습니다. 전반적으로 PRISM VIT-128은 매우 안정적이고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 툴로, 탁월한 결함 감지 및 특성 기능을 제공합니다. 고해상도 이미징 (High-resolution Imaging) 및 혁신적인 결함 검토 (Innovative Defect Review) 기능을 통해 높은 정확도로 다양한 결함을 감지하여 결함이 없는 집적 회로를 보장할 수 있습니다.