판매용 중고 PRISM VIT-128 #293587206
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PRISM VIT-128은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 기계 비전 (Machine Vision) 기술을 활용하여 현미경 수준의 웨이퍼 결함 및 기타 불규칙성을 감지하는 비전 기반 자동 검사 시스템입니다. 이 장치는 초고해상도 Telecentric 렌즈와 통합 Imaging & Vision 프로세서로 구성되어 있습니다. 렌즈는 검사 중 웨이퍼의 고밀도 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 그런 다음, 이미징 및 비전 프로세서는 최신 알고리즘과 아키텍처를 사용하여 검사를 수행합니다. 스크래치, 칩 모서리, 파손 면, 현지화 된 오염, 균열, 구덩이, 구멍 및 기타 시각적 불연속성을 포함하여 표면 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 기계는 최대 1um 해상도까지 높은 정확도로 이상을 감지 할 수 있습니다. VIT-128 툴에는 편리한 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 매개변수를 쉽게 설정하고 전체 검사 프로세스를 쉽게 제어할 수 있습니다. 모놀리스 (monolith), 드롭릿 (droplet) 및 로터리 (rotary) 와 같은 여러 이미징 모드를 사용하여 검사된 객체의 여러 이미지를 캡처할 수 있습니다. 자산에는 실시간 상태 모니터링 (Real-Time Condition Monitoring) 이 장착되어 있어 사양 외 (Out-of-Spec) 이상을 감지하고 검사 스테이션에서 즉시 알립니다. 이 모델에는 또한 검사된 객체의 물리적, 기하학적 특성에 대한 통찰력을 제공하는 3D 이미징 (3D Imaging) 기능이 있습니다. 높이와 너비를 정확하게 측정하고 서브픽셀 (subpixel) 수준에서 텍스처 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 개별 입자 및 기타 오염과 같은 복잡한 표면 피쳐를 분석 할 수있는 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘이 포함되어 있습니다. PRISM VIT-128 검사 장비는 고급 자가 진단 (self-diagnostic) 및 유지 관리 (maintenance) 기능으로 사용이 매우 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 또한 향후 애플리케이션의 요구를 충족할 수 있는 확장성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 고급 검사 시스템은 현미경 수준의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 대한 다양한 종류의 결함과 불규칙성을 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수 있습니다.
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