판매용 중고 PRISM VIT-118 #293605823
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PRISM VIT-118은 반도체 제조에 대한 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 최첨단 데스크탑 기반 자동 검사 장비입니다. 정밀도 및 처리량 향상을 위해 포토마스크 및 웨이퍼 표면에 대한 높은 정확도, 신뢰할 수 있는 비접촉 (non-contact) 광학 검사를 제공합니다. 이 시스템은 기하학적 광학 접근법 (geometric optical approach) 을 사용하여 검사할 샘플에 대한 관심 영역 (예: 기형 또는 입자 오염) 을 식별합니다. 그런 다음, 이러한 영역을 샘플의 정상 작동이 확인된 영역 또는 참조 영역과 비교하고 결함을 정량화합니다. 이 기술은 고급 알고리즘 분석 (algorithmic analysis), 고속 이미지 캡처 장치 (high-speed image capture unit) 및 고품질 광학 카메라를 결합하여 빠르고 반복 가능하며 안정적인 결과를 제공합니다. 기계는 멀티 이미지 검출기, 레이저 광학 및 12 비트 CCD 카메라로 구성됩니다. 이 조합은 산란된 빛과 이미지 노이즈 (image noise) 를 제거하여 가장 선명한 결함을 명확하게 볼 수 있습니다. 이 도구는 전체 영역 뷰 (zone view) 를 통해 마스크 및 웨이퍼에 대한 결함, 입자, 칩 및 기타 거친 점에 대한 우수한 검사를 제공하도록 설계되었습니다. 최대 800 nm 해상도를 처리하며 Rigi-LUX, Contact Emission 및 CCD Printed를 포함한 다양한 공통 마스크 형식으로 작동하도록 설계되었습니다. 또한 고급 패턴 매칭, 모서리 감지 및 이미지 인식 기능이 있습니다. 자산의 검사 정확도는 최대 30nm이며, 검사 속도는 최대 30cm ²/sec입니다. 이 소프트웨어는 다양한 분석 도구와 추가 기능 (자동 초점, 수동 프로그래밍, 매우 정확한 실시간 결함 표시 등) 을 통해 2D 및 3D 측정을 모두 수행할 수 있습니다. VIT-118 은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 요구 사항을 충족할 수 있는 매우 유용한 툴로서, 고객이 예상한 대로 성능을 발휘할 수 있도록 보장합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 수작업 검사 (Manuual Inspection) 조차 느리고 원시적으로 보이도록 하는 업계 최고의 성능을 지닌 이 모델은 고급 검사 기능이 필요한 모든 사용자에게 적합한 선택입니다.
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