판매용 중고 PARAGON Ultra 100 #9313875
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PARAGON Ultra 100은 반도체 웨이퍼 및 마스크 검사를위한 고성능 수율 관리 장비입니다. 이 제품은 결함 감지성 및 높은 신뢰성에 대한 엄격한 업계 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 다용도 소프트웨어 제품군은 오늘날의 최첨단 반도체 기술을 위한 유연한 분석/보고 기능을 제공합니다. 울트라 100 (Ultra 100) 은 각 프로세스 단계에서 웨이퍼 및 마스크 기판을 검사하기 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션입니다. 임의의 결함에서 패턴 결함 사이의 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 빠른 결함 검토를 위해 고급 자동 결함 검토 단계를 통합합니다. 여기에는 광학 빔 스캔, 이미지 캡처, 이미지 분석, 결함 검토 등 4 가지 주요 구성 요소가 사용됩니다. 광학 빔 스캐닝 (optical beam scanning) 단계는 사용자가 설정한 매개변수에 따라 웨이퍼와 마스크에서 결함을 검사합니다. 더 큰 웨이퍼를 스캔하기위한 큰 검사 구역이 있으며, 크기가 다른 패턴을 수용 할 수있는 조절 가능한 빔 앵글 (beam angle) 을 제공합니다. 내장 자동 초점은 정확한 고해상도 이미징을 보장합니다. 이미지 캡처 단계는 wafer/masks 의 고해상도 디지털 이미지 (분석) 를 제공합니다. 이 이미지는 결함이 있는지 확인하는 소프트웨어에 의해 처리, 분석됩니다. 이미지 분석 단계는 강력한 알고리즘을 사용하여 결함이 있는지 여부를 결정합니다. 이 장치는 고급 모서리 감지 (Advanced Edge Detect) 및 고주파 노이즈 감지 (High Frequency Noise Detection) 를 통합하여 숨겨진 결함을 감지합니다. 또한 자동 패턴 인식 기능이 있습니다. 결함 검토 단계 (Defect review stage) 는 식별된 결함을 추가로 검토하고, 더 자세한 정보를 사용자에게 제공합니다. 이를 통해 사용자는 문제를 더 잘 이해하고, 그에 대한 조치를 취하는 결과를 평가할 수 있습니다 (영문). PARAGON Ultra 100 머신은 다양하고 사용자 친화적 인 프로그래밍 인터페이스를 통해 매우 안정적이고 비용 효율적입니다. '실시간 데이터 수집 (real time data for better analysis)' 기능을 통해 툴이 최신 버전임을 확인하고 사용자의 요구 사항과 환경에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 여러 운영 체제와의 호환성으로 인해 매력적인 선택이 가능합니다. 또한, Ultra 100은 기존 ERP 시스템 및 기타 제조 시스템과 손쉽게 통합할 수 있으며, 공장 바닥과 통합할 수 있습니다. 하드웨어와 소프트웨어의 독특한 조합으로 PARAGON Ultra 100은 웨이퍼 및 마스크 검사를 위한 완벽한 솔루션입니다. 견고하고 신뢰할 수있는 검사 시스템이 필요한 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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