판매용 중고 OSI Microvision 15 #5921

ID: 5921
웨이퍼 크기: 4", 5"
Wafer inspection system, 4" and 5" with Nikon optics.
OSI Microvision 15는 다양한 반도체 장치의 결함을 감지, 분석, 분류하도록 설계된 복잡하고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 알고리즘과 이미지 처리 (Imaging) 기능을 통해 복구/복구 불가능한 결함을 자동으로 파악하고 분류할 수 있으므로 신속하고 정확한 유지 관리 및 품질 보증 (Quality Assurance) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 동력, 동기화 된 웨이퍼 전송 장치, 고해상도 현미경, 인수 하위 시스템 및 결함 감지 하위 시스템으로 구성됩니다. 5 배 확대/축소 기능이있는 현미경은 최대 1000 배의 결함을 확대 할 수 있습니다. 이 로 말미암아 "오퍼레이터 '는 0.20" 미크론' 의 크기 로 전례 없는 세부점 을 보고 기록 할 수 있다! 현미경과 함께 획득 서브 시스템 (acquisition subsystem) 은 단일 스캔에서 전체 웨이퍼의 영상을 허용합니다. 여러 가지 CMOS 및 CCD 카메라와 밝은 필드, 어두운 필드, 비스듬한 각도 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼 기능의 세밀한 세부 사항과 뉘앙스를 정확하게 포착합니다. 이 결함 감지 하위 시스템은 패턴 인식 기술, ProgRama의 독보적인 현장 기반 결함 제품, 메트로사이트 (Metrosight) 의 독자적인 머신 비전 (machine-vision) 알고리즘의 강력한 조합입니다. 이러한 기술을 통해 기계는 검사를 수행하고, 패턴 결함을 식별하고, 결함을 분류하고, 분리하여 분석할 수 있습니다. 수집된 데이터는 도구의 결함 분류 도구 (Defect Categorization Tool) 에 의해 분석, 분류되어 키 결함을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 그 후, 데이터는 패치 기반 결함 검토 스테이션으로 내보내지며, 이 스테이션은 운영자에게 상세한 결함 이미지, 데이터 분석, 분류 보고서를 제공합니다. 리포팅 툴을 사용하면, 실행 가능한 정보로 종합적인 리포트를 생성하여 결함 있는 웨이퍼를 빠르고 정확하게 파악하고 문서화할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 Microvision 15는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 포괄적 인 자산을 구성합니다. 첨단 이미지 처리 (advanced imaging) 및 결함 감지 (defect detection) 기술을 통해 가능한 결함을 정확하게 파악, 측정 및 분류할 수 있습니다. 또한 강력한 보고 기능을 통해 운영자가 신속하고 정확하게 결함을 분석하고 '수정 조치 (corrective action)' 를 수행할 수 있습니다. 고성능 품질 보증 작업을 위한 완벽한 선택입니다.
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