판매용 중고 OSI Metra 2115M #293629181
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OSI Metra 2115M은 반도체의 제조 공정에 사용하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 자동 이미지 인식 (Automated Image Recognition) 기술을 활용하여 제품 품질에 영향을 줄 수 있는 결함 또는 불규칙성에 대한 마스크 또는 웨이퍼 표면을 빠르고 정확하게 검사합니다. 주요 구성 요소로는 정밀 X/Y 및 기울기 이동이 내장 된 스캔 단계, 진공 기반 비전 시스템 및 고해상도 LCD 이미지 모니터가 있습니다. 시각 장치는 디지털 카메라, 마이크로 렌즈, 파장에 민감한 센서를 포함한 다양한 광학을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 신속하게 캡처, 분석, 표시합니다. 그런 다음 기록 된 데이터는 입자 오염, 크래킹 또는 워핑 (cracking or warping) 또는 결함 또는 하위 표준 반도체 구성 요소로 이어질 수있는 다른 불규칙성과 같은 표면에서 미묘한 불규칙성을 감지하는 데 사용됩니다. Metra 2115M에는 프로그래밍 및 프로세스 제어를 위한 사용자 친화적 인 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이 기계는 불균일 한 단계 추적, 파형 제어, X/Y 및 기울기 이동 제어와 같은 복잡한 작업을 수행할 수 있습니다. 프로그래머블 (programmable) 로직 컨트롤러를 사용하면 검사 매개변수와 데이터 분석 (data analysis) 프로세스를 사용자정의할 수 있습니다. 또한, OSI Metra 2115M 은 대용량 데이터를 신속하고 일관되게 분석할 수 있는, 특화된 대용량 통계 분석 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 많은 웨이퍼 (Wafer) 또는 마스크 (Mask) 표면에서 비전 도구로 수집한 데이터를 비교하여 이상자 또는 이상을 신속하게 식별할 수 있습니다. 마지막으로 Metra 2115M은 다른 프로세스 및 장비에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 네트워크 인터페이스를 통해 다른 시스템 (예: 레이저 스캐너, 자동 정렬 시스템) 과의 연결이 어려움 없이 가능합니다. 이를 통해 필요에 따라 다른 프로세스에 통합되어 반도체의 생산 공정을 간소화 할 수 있습니다 (영문).
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