판매용 중고 NIKON Optistation #9312930
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NIKON Optistation은 혁신적이고 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 품질 관리 표준 (Quality Control Standard) 과 추적 생산 (Track Production) 을 위해 마스크 및 웨이퍼를 정기적으로 검사해야 하는 제조업체와 공장에 이상적인 도구입니다. Optistation은 스크래치, 구덩이, 공백 등 다양한 마스크 및 웨이퍼 결함을 분석하여 두께 불규칙성 (thickness imrularity) 및 표면 불완전성을 조정하도록 설계되었습니다. 고급 5 메가 픽셀 CCD 카메라가 장착되어 있어, 이러한 결함을 정확하게 검사할 수 있는 고해상도 이미지를 제공합니다. 또한 정밀도 (precision stage) 를 사용하여 마스크 또는 웨이퍼를 3 차원으로 이동하여 여러 영역을 쉽게 스캔 할 수 있습니다. 검사 시스템은 NIKON 자체 Evo 제어 소프트웨어로 구동되며, 이는 최소 운영자 개입으로 정확한 결과를 보장합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 워크플로우 관리를 단순화하고 장치를 쉽게 사용할 수 있도록 해줍니다. 이 소프트웨어는 또한 검사 프로세스를 신속하게 수행하기 위해 다양한 자동 자동 기능 (예: 자동 초점 수정 및 3D 마스크 및 웨이퍼 매핑) 을 제공합니다. 또한 NIKON Optistation 은 검사 데이터와 이미지를 저장하고 관리할 수 있는 포괄적인 데이터 관리 기능을 갖추고 있습니다. 검사 데이터는 SPC 파일 형식으로 저장되며, 이를 통해 쉽게 비교 및 분석할 수 있습니다. 이 기계는 결함 있는 패턴 보고서 (Defective Pattern Report) 및 산란도 (Scatter Diagram) 보고서와 같은 다양한 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한, Optistation에는 마스크 또는 웨이퍼에 걸쳐 작은 온도 변화를 포착 할 수있는 고감도 열전점 센서 (고감도) 가 장착되어 있습니다. 이 기능은 기판의 품질을 분석하는 데 유용하며, 열 관련 문제 (heat-related problem) 로 인한 결함을 감지하는 데 유용합니다. NIKON Optistation (NIKON Optistation) 은 신뢰할 수 있는 마스크 및 웨이퍼 검사 도구가 필요한 제조업체 및 공장을 위한 완벽한 솔루션입니다. 5 메가 픽셀 CCD 카메라와 정밀 스테이지 (precision stage) 와 같은 고급 기능을 통해 가장 정확하고 효율적인 방식으로 작은 결함을 분석 할 수 있습니다. 직관적인 GUI, 데이터 관리 기능, 다양한 검사 기능 등을 갖춘 Optistation 은 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 작업을 수행하는 강력한 툴입니다.
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