판매용 중고 NIKON Optistation #9218871

NIKON Optistation은 반도체 제조에 사용되는 포괄적이고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 이미징 기술, 특수 광학, 인공 지능 알고리즘을 사용하여 다양한 유형의 마스크 및 웨이퍼 표면을 검사합니다. Optistation 은 고해상도 이미징 시스템을 높은 정확도와 반복 (repeatability) 기능을 통해 가장 작은 결함도 감지합니다. NIKON Optistation은 디지털 카메라, 광원 및 이미지 캡처 광학으로 구성된 고급 이미징 장치를 사용합니다. 디지털 카메라는 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 표면의 이미지를 캡처한 다음 연결된 호스트 머신에 전송하여 처리를 수행합니다. 광원은 마스크 또는 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 에서 반사되고 이미지 캡처 광학 (image capture optic) 에 의해 캡처되는 이미지를 생성합니다. Optistation은 1차 및 2차 결함 모두를 검사할 수 있습니다. 주요 결함은 공구의 계산 이미징 알고리즘 (computational imaging algorithm) 에 의해 검사할 수 있으며, 보조 결함은 각 결함의 모양, 크기, 방향을 고려한보다 정교한 분석이 필요합니다. 에셋은 또한 베어 (bare) 및 패시브 (passivated) 표면을 검사하는 데 사용될 수 있으며, 브리징, 핀홀, 노출 된 유전체 재료와 같은 다양한 마스킹 문제를 감지 할 수 있습니다. 강력한 AI 알고리즘 NIKON Optistation 사용은 지역화된 마스킹 모양 (예: 원, 사각형 및 사각형) 을 모두 인식할 수 있습니다. 또한 Optistation에는 X, Y 및 Z 방향으로 빠르고 반복 가능한 측정이 가능한 고정밀 포지셔닝 모델이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 장비가 캡처한 이미지가 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 서피스와 정확하게 정렬됩니다. 또한 NIKON Optistation은 결함 감지 및 사용 편의성을 향상시키는 여러 가지 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 내장형 현미경이 포함되어 있는데, 이를 통해 사용자는 확대 (zoom in) 하고 결함을 보다 자세히 볼 수 있습니다. 또한 Optistation에는 디지털 이미지 처리 모듈 (digital image processing module) 이 함께 제공되며, 이는 시간이 지남에 따라 이미지의 약간의 변화를 감지할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON Optistation은 정밀도, 정확성 및 반복 성을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. Optistation은 고급 이미징 기술, 특수 광학, 인공 지능 알고리즘을 활용하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 감지하고 분석하는 효과적인 수단을 제공합니다 (영문).