판매용 중고 NIKON Optistation #293811505
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NIKON Optistation은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 그것 은 강력 한 "레이저 '광선 검사" 시스템' 과 미세 한 결함 을 "앵스트롬 '수준 까지 그리고 수" 나노미터' 의 거시 수준 까지 탐지 할 수 있는 자동화 된 "웨이퍼 '검사 과정 을 결합 시킨다. Optistation 은 정밀 미러 및 오브젝티브 렌즈로 구성된 광 유닛을 사용합니다. 미러는 자동 초점 미러 (auto-focus mirror) 또는 확대/축소 미러 (zoom mirror) 의 한 유형이며 검사 중인 객체를 이미징하는 다양한 기능이 있습니다. 광학 기계에는 검사 된 웨이퍼를 조명하기위한 노출 조명 도구 (exposure illumination tool) 도 장착되어 있습니다. 이 자산은 요구 사항에 따라 수정할 수 있는 광원 (light source) 을 사용하며 시각적으로 (visual) 또는 줄무늬 이미징 모델 (streak imaging model) 로 결함을 감지하는 데 사용할 수 있습니다. NIKON Optistation에는 대형 LCD 화면과 전체 크기의 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 도 있습니다. 이 GUI 에는 여러 가지 기능 (예: 결함 유형을 그래픽으로 표시하고 검사한 웨이퍼 위치) 이 포함되어 있어 결함을 자세히 파악하고 평가할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 결함 분류 장비는 결함 분석에 추가로 도움이됩니다. Optistation은 최대 면적이 612mm x 836mm (0.2mm ~ 8mm) 인 다양한 와퍼 및 박막 장치를 자동으로 처리하도록 설계되었습니다. 또한 25 배에서 7500 배 사이의 동적 확대/축소와 25 배에서 30 배 사이의 수동 확대/축소 범위가 있습니다. 이 시스템은 이미징 품질 (Imaging Quality) 과 정밀도 (Precision) 를 모두 제공하여 높은 반복성과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 레이저 빔 스캐닝 장치 (laser beam scanning unit) 의 속도를 조정하여 산업 수준의 반도체 제조에 이상적입니다. NIKON Optistation에는 오염, 긁힘, 돌출, 구덩이, 공백, 먼지, 고르지 않은 레이어 등 다양한 결함을 감지 할 수있는 다양한 분석 소프트웨어 및 이미지 처리 기술이 포함되어 있습니다. 더우기, 이 기계 는 도자기, 금속, "플라스틱 '등 매우 다양 한 물질 의 결함 을 탐지 하는 데 사용 될 수 있다. Optistation에는 고해상도 스캔 및 분석을 위한 다양한 해상도의 이미지를 제공할 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 결함 유형을 신속하게 식별하는 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 기능도 포함되어 있습니다. 더욱 중요한 것은, 이 자산은 최신 이미지 처리 소프트웨어 (image processing software) 와 호환되도록 설계된 것입니다. 요약하면, NIKON Optistation은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 강력한 레이저 빔 스캐닝 (laser beam scanning) 과 자동화된 결함 분류 소프트웨어 (automated defect classification software) 를 결합하여 웨이퍼 또는 박막 장치의 미세 및 거시 결함을 감지합니다. 높은 수준의 반복 성능, 정확성, 뛰어난 이미지 화질, 고해상도 스캐닝 (Scanning) 및 분석 (Analysis) 을 위한 다양한 해상도의 이미지를 제공할 수 있습니다. 전반적으로 Optistation은 현대의 산업용 반도체 공정에 우수하고 강력한 도구입니다.
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