판매용 중고 NIKON Optistation #293608235
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NIKON Optistation 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 포토 마스크 및 웨이퍼에 대한 정확하고 자동화된 검사를 제공합니다. 혁신적인 광/이미지 처리 기술을 통해 photomask 와 wafer 의 결함 및 손상 여부를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. Optistation은 스크래치, 스팟, 공백, 균열, 패턴 변형, 스크래치, 핀홀 등 여러 유형의 결함을 감지 할 수 있으며, 최대 5 x 5 x m 해상도의 가장 작은 패턴에서도 다양한 유형의 결함을 감지할 수 있습니다. 가장 복잡한 디자인에서 결함을 식별하고 치료해야 하는 엔지니어에게는 훌륭한 선택입니다. NIKON Optistation은 1.3 메가 픽셀 카메라, 통신 렌즈, LED 광원 및 프로젝션 광학 등 여러 기술을 사용하여 웨이퍼 및 마스크의 고품질 이미지를 캡처합니다. 시스템은 단일 스캔으로 전체 웨이퍼 또는 관심 영역을 검사할 수 있습니다. 특허를 획득한 객체 이동 및 스캔 전자제품 (scan electronics) 을 통해 Optistation 은 전체 웨이퍼 스캐닝 시 기존 시스템보다 최대 9 배 빠릅니다. NIKON Optistation에는 고급 분석 기능 (Advanced Analysical Capability) 이 장착되어 있어, 포토마스크 및 웨이퍼와 관련된 가장 일반적인 문제 외에도, 장치가 복잡한 결함을 감지할 수 있습니다. 고급 이미지 분석 알고리즘 (advanced image analysis algorithms) 은 이미지를 분석하여 참조 설계와 비교합니다. 참조 설계는 사용자가 제조 오류를 식별하거나 프로세스 불규칙성 또는 체계적인 결함을 노출시키는 데 도움이됩니다. Optistation의 직관적인 인터페이스를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 모든 검사 매개변수는 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 에서 조정 가능하고 시각적으로 선택할 수 있으며, 사용자가 반복 가능한 검사를 위해 테스트 매개변수를 쉽게 저장하고 회수할 수 있습니다. 또한, 모든 검사에 대해 수집 된 포괄적 인 통계를 통해 상세한 프로세스 분석 및 최적화를 허용합니다. 가장 정확한 검사를 위해 NIKON Optistation에는 [밝은 필드] 와 [어두운 필드] 방법을 모두 사용하여 검사 정확도를 높입니다. Optistation 은 안정적이고 효율적인 검사기로서, 가장 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. 이를 통해 고객은 테스트 비용을 절감하고, 프로세스 품질을 높이고, 수익률 목표를 달성할 수 있습니다.
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