판매용 중고 NIKON Optistation VII #9225598
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ID: 9225598
웨이퍼 크기: 12"
Automated inspection station, 12"
With FOUP loaders
(2) FOUP Front end load ports:
ASYST ISO Port FL300
With mapper and RFID
Integrated ULPA filtration system
Air suspension vibration isolation table
Standard microscope unit with automated control
10x Eyepieces
Objective lens:
2.5x N.A 0.075 W.D 8.8 mm
10x N.A 0.300 W.D 6.50 mm
20x N.A 0.460 W.D 3.10 mm
50x N.A 0.900 W.D 0.42 mm
150x N.A 0.900 W.D 0.29 mm
Halogen lamp house: 12 V, 100 Watt
Robot and robot controller
Ceramic robot arm
Ceramic rotation arm
Macro unit (A): Wafer chuck
Macro movable uni
Slider assembly
Macro unit (B): Arched holder
Rotation unit assembly
Micro stage unit:
XY Stage / Chuck
X, Y, Z Drive units
Dart controller for image archiving and defect review
LCD Display
Keyboard & trackball
Image capture board
SONY Camera: DXC-9XX/MD.
NIKON Optistation VII는 통합, 고해상도 웨이퍼 레벨 카메라, 초고해상도 옵틱, 고급 조명 기술, 정교한 소프트웨어를 갖춘 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. Optistation VII를 사용하면 반도체 집적회로 제조에 사용되는 마스크 및 웨이퍼를 빠르고, 정확하고, 파괴적이지 않게 검사할 수 있습니다. 고급 기능으로, NIKON Optistation VII는 마스크와 웨이퍼를 검사하고 결함, 이상, 패턴 결함을 찾는 포괄적인 시스템을 제공합니다. Optistation VII (Optistation VII) 는 금속과 포토 마스크 모두에 대한 광학 검사를 위해 설계되었으며, 정확한 검사를 위해 최대 10배의 광시야와 최대 해상도 20.4m를 허용하는 특수 설계 현미경이 있습니다. 반사율 분광계 (Reflectance spectrophotometer) 는 색소 측정에 통합되어 있으며 NIKON Optistation VII는 마스크 반사, 반사, 반사 하이라이트 및 기타 형태의 재료 불완전성에 대한 약간의 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. Optistation VII에는 고해상도 웨이퍼 레벨 카메라가 있어 정밀도 16nm (16nm) 의 구조물을 검사할 수 있습니다. 카메라에는 폭 3.8mm, 해상도 1.5um, 최대 데이터 속도 56Gbps의 CMOS 이미지 센서가 있습니다. "카메라 '는 여러 가지 초점 거리 에 맞추어 조정 할 수 있으며, 연구 하는 재료 의 최상 의 해상도 와 조명기 를 이용 할 수 있다. 검사 장치는 극화 (polarized), 산란 (spattered), 비스듬한 조명 (oblique lighting) 등 다양한 고급 조명 기술을 제공하여 가능한 미세한 기능을 연구하고 분석하는 데 사용할 수 있습니다. NIKON Optistation VII에는 핀홀, 얼룩, 선, 패턴 결함 등 다양한 결함을 감지하고 측정할 수 있는 강력한 이미지 처리 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 결함은 실시간으로 파악되며, 소프트웨어는 정량적 결함 분석 (quantitative defect analysis) 을 통해 상세한 보고서를 작성할 수 있습니다. Optistation VII는 광범위한 업종을 위한 강력하고 유연한 마스크/웨이퍼 검사기를 제공합니다. 고해상도 광학 장치, 고급 조명 방법, 결함 감지 및 분석 소프트웨어 등을 통해 NIKON Optistation VII를 사용하면 마스크 및 웨이퍼를 보다 정확하고 정확하게 검사할 수 있습니다.
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