판매용 중고 NIKON Optistation VII #293652861

ID: 293652861
Wafer inspection system.
NIKON Optistation VII는 반도체 및 LCD 산업의 리소그래피 작업 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. Optistation VII는 다양한 조명 유형을 갖춘 멀티 빔, 멀티 채널 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 하나의 마스크 기판에서 최대 16 개의 마스크 레이어 및/또는 여러 장의 샷을 동시에 검사할 수 있습니다. NIKON은 더 강한 마스크 검사를 처리하기 위해 [용량 감도], [초점 감도] 및 [특수 투영] 과 같은 다양한 도구를 제공합니다. NIKON Optistation VII는 고급 감지 시스템도 제공합니다. 해상도 (Resolution) 기능은 기존 이미지 처리 시스템을 능가하여 특수 알고리즘을 사용하지 않고 심각한 결함을 신속하게 인식할 수 있습니다. 독점적 인 AFM (Adaptive Fault Map) 기능은 매우 낮은 명암 마스크 기판에서 정체 및 산발적 결함을 감지 할 수 있습니다. Optistation VII의 고속 이더넷 통신 회로는 장치에서 백엔드 (back-end) 프로세스로의 고속 전송 데이터 및 이미지를 용이하게 합니다. 이를 통해 엔지니어는 결함 데이터를 평가하고 신속하게 결정을 내릴 수 있습니다. 이 기능의 또 다른 이점을 통해 두 개의 운영자를 위한 공유 머신 (shared machine) 을 사용할 수 있으며, 비용을 절감하고 작업을 단순화할 수 있습니다. 이 도구에는 고급 정렬 에셋 (NIKON OAS (Orthogonal Alignment Model)) 이 있습니다. 이 에셋은 기판에 맞게 장비 매개변수를 자동으로 조정하여 작업 프로세스를 단순화합니다. 검사의 설정 시간을 최소화하고, 가장 까다로운 검사 환경에서도 신속하게 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 안정적이고 안정적인 플랫폼을 제공하면서도 최고의 품질 (Quality) 과 안전 (Safety) 표준을 충족하도록 설계되었습니다. UL, CE, CSA 인증을 받았으며, 광범위한 소프트웨어/하드웨어 인터페이스를 통해 원활한 운영 및 워크플로우를 보장합니다. NIKON Optistation VII는 가장 혹독한 환경에서 경제적인 검사 솔루션을 제공합니다. 이 장치의 통합 환경 제어 (Environmental Control) 는 기계가 안전하고 안정적이며 유지 보수가 적도록 보장합니다. Optistation VII (Optistation VII) 는 고급 감지 툴과 단순화된 자동화된 운영을 통해 최상의 품질의 결과를 제공하므로 처리량을 극대화하고 결과의 시간을 단축할 수 있습니다.
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