판매용 중고 NIKON Optistation VII #293645159
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NIKON Optistation VII는 대용량 제조의 요구를 충족하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 고해상도 검출기를 사용하여 단일 장치에서 동시 웨이퍼 및 마스크 검사를 제공합니다. 전면, 후면, 오버레이, 마스크 결함 등 다양한 레이어의 웨이퍼 (wafer) 에 대한 광 결함 검사를 지원합니다. 고급 Photon Counting Detector 기술을 통해 탁월한 해상도로 작은 결함을 감지하고 결함이 없는 마스크를 생성할 수 있습니다. Optistation VII는 브라이트필드, PAD (위상 수차 탐지기), PSD (위상 편이 결함) 및 PSC (위상 편이 카메라) 모드를 포함하여 주어진 검사 작업을 위해 4 가지 광학 시스템을 배포합니다. 브라이트필드 (brightfield) 장치는 전송된 가시광선을 사용하여 연산자가 결함을 빠르고 정확하게 식별하고 분석 할 수 있습니다. 패드 머신 (PAD machine) 은 근거리 광학 현미경을 사용하여 위상 개발을 감지하여 의사들이 위상 이상을 정확히 파악하고 수정 할 수 있습니다. PSD 도구는 제한된 광자 제어를 사용하여 검사 중에 위상 이동을 정확하게 측정하는 반면, PSC 에셋은 위상 데이터를 수집하여 개체 (object) 또는 표면적 (surface area) 측정에 지정합니다. 또한, 이 모델은 마스크 패턴 및 웨이퍼 제작에 맞게 특별히 설계된 몇 가지 고급 검사 (advanced inspection) 기술을 제공합니다. [자동 초점] (AF) 기능은 현미경 오브젝티브 렌즈 설정을 자동으로 조정하여 가장 높은 화질을 제공합니다. 하이브리드 펄스 위상 (Hybrid Pulse Phase) 기술은 AF 광학 초점을 추가로 지원하는 반면, 수직 교정 (Perpendicularity Correction) 기술은 가장자리가 초점 설정과 매우 정확하게 수직하도록 보장합니다. 스플리팅 포커스 (Splitting Focus) 기술은 시야의 포인트를 다르게 집중하여 더 선명한 이미지를 제공합니다. NIKON Optistation VII (Optistation VII) 는 다양한 기능으로, 검사 작업을 자동화하고 처리량을 높여주는 스크립트 관리 시스템을 통해 전체 프로덕션 환경까지 확장할 수 있습니다. 또한 인체 공학적 S-VGA 모니터를 장착하여 실시간 검사 결과와 쉽게 작동할 수 있도록 직관적인 GUI를 제공합니다. 또한, 이 장치는 이중 이미지 보기 모드를 특징으로하며, 이 모드는 두 검출기에서 가져온 이미지를 보다 쉽게 검사할 수 있도록 오버레이합니다. Optistation VII는 안정적이고 강력한 마스크, 웨이퍼 (wafer) 검사 머신으로 뛰어난 유연성과 다양한 고급 기술을 제공합니다. 이 제품은 대용량 제조 (high-volume manufacturing) 를 위한 탁월한 선택으로, 견고한 디자인과 다양한 기능을 통해 지정된 모든 검사 작업에 대해 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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