판매용 중고 NIKON Optistation VII #293592368

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마스크 & 웨이퍼 검사
제조사
NIKON
모델
Optistation VII
ID: 293592368
Wafer defect inspection system, 12" (2) FOUP Front end load ports ASYST ISO Port FL300 with mapper and RF ID ULPA Filtration system Air suspension vibration isolation table Standard microscope unit with automated control Eyepieces: 10x Objective lens: 2.5x 0.075 W.D. 8.8 mm 10x N.A. 0.300 W.D. 6.50 mm 20x N.A. 0.460 W.D. 3.10 mm 50x N.A. 0.900 W.D 0.42 mm 150x N.A. 0.900 W D.0.29 mm Halogen lamp house: 12 V, 100 W Robot controller Ceramic robot arm Macro unit A: Wafer chuck Macro movable unit Slider assembly Macro unit B: Arched holder Rotation unit assembly Micro stage unit XY Stage / Chuck XYZ Drive unit DART Controller: Image archiving and defect review LCD Display Keyboard / Trackball Image capture board: Integral technologies video card SONY DXC- 9XX/MD Camera.
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NIKON Optistation VII는 유연하고, 처리량이 높은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크와 웨이퍼 모두에 대한 빠르고 자동화된 검사를 제공합니다. 이 시스템은 결함 감지 측면에서 탁월한 정확도를 제공하며, 패턴을 0.2 ~ 0.8 미크론까지 감지 할 수 있습니다. 또한 포토 마스크, 석판 마스크, 웨이퍼 등 다양한 재료를 검사하는 다양한 다재다능성을 제공합니다. 이 장치는 고속 크세논 스트로브 (xenon) 광원을 사용하여 샘플을 조명하고 CCD 카메라를 사용하여 이미지를 캡처합니다. 이미징 머신 (Imaging Machine) 은 가시 광선 스펙트럼 이상의 신호뿐만 아니라 서브 미크론 차이를 감지 할 수 있으며, 이 도구를 통해 결함 및 서브 마이크로 구조를 정확하게 검사 할 수 있습니다. 4K 픽셀 CCD 어레이는 매우 미세한 검사 해상도를 가능하게하며, 자산은 5 배에서 2500배 사이의 강력한 확대 기능을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 12x12 인치 (12x12 인치) 의 넓은 검사 영역이 있어 재료의 밀집된 영역을 빠르고 파괴적으로 덮을 수 있습니다. 일정한 깊이의 초점은 전체적으로 높은 정확성과 일관성을 보장하므로, 이미지가 일관되게 선명하고 선명합니다. 게다가, 인적 인 관여 가 필요 하지 않다면, 그 장비 는 중단 없이 자동 스캐닝 및 분석 을 할 수 있다. 또한 Optistation VII에는 자동 기능 검사를 위한 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 입자, 결함, 미세한 결함 및 불규칙성을 감지하는 강력한 결함 감지 엔진이 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 강력한 프로그래밍 기능을 갖추고 있으며, 여러 유형의 기능을 검사하기 위해 자동 시퀀스 (automated sequence) 를 생성할 수 있습니다. NIKON Optistation VII는 마스크와 웨이퍼 모두에 대해 자동화되고, 안정적이며, 높은 정확도를 검사하도록 설계되었습니다. 다양한 범위의 다용도, 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 기능, 탁월한 정확성 등을 갖춘 이 제품은 고도의 정밀도를 필요로 하는 검사 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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