판매용 중고 NIKON Optistation V #9236761

NIKON Optistation V
ID: 9236761
웨이퍼 크기: 8"
Inspection system, 8".
NIKON Optistation V는 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 미세한 구조의 작은 구성 요소를 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 NIKON의 첨단 최첨단 기술을 통합하여 정확도가 높고 정밀도가 높은 측정을 수행합니다. 3D 측정과 높은 처리량 검사를 모두 수행할 수 있습니다. NIKON OPTISTATION - V는 반자동 8-way XY 측정 단계의 견고한 광학 열과 고급 정밀 자동화 기능을 갖춘 소형 벤치탑 레이저 간섭 장치로 구성됩니다. 광학 열은 환경 진동을 최소화하고 웨이퍼 정렬의 성능을 최대화하도록 설계되었습니다. '능동 안정화 (active stabilization)' 기술을 활용하여 모든 측정에서 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 고급 레이저 간섭계 (Advanced Laser Interferometer) 기계는 웨이퍼 표면의 광학 이미지에서 가장 약간 각도 및 선형 변위를 감지합니다. 비접촉식 스캐닝 모드에서 높은 정밀도 ± 0.4m로 100 분의 1 미크론에 대한 3D 프로파일 데이터를 빠르게 얻습니다. 이를 통해 패턴 구조의 가장 작은 특징을 매우 정확하게 검사할 수 있습니다. 또한이 도구는 다양한 레이저 소스와 렌즈 (lense) 가있는 레이저 투영 자산을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 3 차원 형상의 모양을 웨이퍼 서피스에 올바르게 투영할 수 있습니다. Optistation V는 평면 패널 디스플레이, 웨이퍼 레벨 옵틱, 복합 반도체 제조, 기타 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 최고 수준의 정확도, 반복 가능성, 처리량을 제공하도록 설계되어 우수한 검사 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스로, 전문 사용자끼리 쉽게 작동하고 대중적으로 사용할 수 있습니다. 이 아트 마스크 및 웨이퍼 검사 모델 (State of Art Mask and Wafer Inspection Model) 은 업계 엔지니어와 디자이너에게 전례없는 정확성, 성능 및 신뢰성을 제공합니다.
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