판매용 중고 NIKON Optistation III #293616245

NIKON Optistation III
ID: 293616245
Inspection system.
NIKON Optistation III는 오늘날 생산 환경에서 고해상도, 효율성, 생산성 요구를 충족할 수 있는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비입니다. 이 검사 시스템은 크롬리스 (chromeless) 및 블랙 크롬 포토 마스크 (chrome photomask), 쿼츠 웨이퍼 (quartz wafer) 및 기타 장치를 완전히 검사하여 다양한 재료 및 프로세스 요구를 처리하도록 설계되었습니다. NIKON OPTISTATION-III는 표면 결함의 고속, 고해상도 이미징을 제공하는 완전 자동화 장치입니다. 정교한 이미지 인식 기법으로 운영되며, 기존의 시각 및 전자 현미경과 패턴 인식 및 픽셀 기반 이미징 솔루션을 결합합니다. 이 기계는 고급 오브젝티브 이미징 도구를 사용하여 브라이트 필드 (brightfield) 및 다크 필드 (darkfield) 모드에서 전체 필드 다중 메가 픽셀 이미지를 캡처합니다. 밝기가 높은 광원은 큰 표면의 빠른 영상을 허용하고 표면 결함 (surface defect) 을 감지 할 수 있습니다. 에셋은 고해상도, 웨이퍼 표면 및 마스크의 높은 접촉 이미지를 제공 할 수 있습니다. 검사 모델은 크롬리스, 전하 결합 장치 (CCD) 이미징 센서를 사용하여 표면의 고해상도 이미징을 사용합니다. 영상 장비는 표면 결함 분석에 최적화되어 있으며, 0.5 미크론 정도의 작은 입자 오염을 감지 할 수 있습니다. Optistation III 시스템의 최신 설계는 간편한 사용, 통합 및 자동화를 위한 플랫폼을 제공합니다. 기존 Cleanroom 프로세스에 쉽게 통합되도록 설계되었으며, 로봇 공학, 자동화, 프로세스 모니터링 솔루션과 호환됩니다. 통합된 피드백 장치를 사용하면 자동화된 조정을 통해 최적의 이미징 성능을 보장할 수 있습니다. OPTISTATION-III는 지능적이고 효율적인 표면 검사 시스템을 제공하여 시간, 비용, 노력을 절감할 수 있습니다. 산업에서의 성공은 사용 편의성 (Euse of Use) 과 표면 결함을 정확하게 감지하고 식별하는 능력 때문입니다. 이 툴은 임의의 생산 수준에서 마스크/웨이퍼 (Mask & Wafer) 검사에 이상적인 기능을 제공합니다.
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