판매용 중고 NIKON Optistation 3A #9115822

ID: 9115822
Inspection systems.
NIKON Optistation 3A (옵션 3A) 는 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 제조업체가 웨이퍼 및 마스크의 한계 결함을 확인할 수 있도록 설계되었습니다. 고배율 광학 현미경, 최첨단 디지털 이미징 장치, 고도의 정밀한 모션 컨트롤 머신 (motion control machine), 고급 결함 감지 및 식별 소프트웨어 프로그램 등 다양한 기술을 결합한 장비 시스템입니다. NIKON OPTISTATION 3 A의 현미경 도구는 6:1 확대/축소 비율의 Longitudinal Zoom Method를 사용하여 사용자가 하위 아이콘에서 나노 해상도까지 웨이퍼와 마스크를 볼 수 있습니다. 현미경 광학을 조정하여 최대 밝기 및 어플리케이션 유연성을 제공 할 수 있습니다. 에셋은 또한 0.3X ~ 8500X의 확대 범위를 허용합니다. 광학 이미징 모델은 고해상도 (High-resolution) 카메라를 사용하여 최대 13 메가 픽셀 해상도의 표본에 대한 자세한 이미지를 캡처합니다. Optistation 3A의 모션 제어 장비는 3축 XYZ 모션 스테이지와 정확한 단계 및 반복 작업을 위한 스테퍼 모터로 구성됩니다. Full-Field Multi-Point Measuration, Patterned Inspection, Focus 조정 등 까다로운 자동 작업을 수행할 수 있습니다. 이 시스템을 사용하면 optic 의 동작을 빠르고 정확하게 제어할 수 있습니다. OPTISTATION 3 A에는 고급 결함 검토 소프트웨어 프로그램도 포함되어 있습니다. 이 프로그램은 패턴 일치 및 신경 네트워크 기반 결함 감지를 모두 지원합니다. 또한 발견된 결함 (예: 유형, 크기, 위치 및 기타 특성) 에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 또한, 프로세스 품질을 보장하기 위해 자세한 통계 분석을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로 NIKON Optistation 3A는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로서 샘플을 매우 상세하고, 정확하며, 빠르게 검사할 수 있습니다. 다양한 기술을 통합하여 뛰어난 화질을 지닌 고정밀도 검사를 실시합니다. 또한, 고급 결함 감지 및 검토 (Advanced Defect Detection and Review) 소프트웨어는 빠르고 안정적인 결함 식별 및 품질 프로세스 성능에 대한 자세한 분석을 제공합니다.
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