판매용 중고 NIKON Optistation 3A #293821817

ID: 293821817
웨이퍼 크기: 8"
Wafer Inspection system, 8".
NIKON Optistation 3A는 고정밀, 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 안정성, 정확성, 지속 시간을 고려하여 설계되었으며, 모든 유형의 포토마스크 (photomask) 및 웨이퍼 (wafer) 어플리케이션에 대해 완벽한 검사 기능을 제공합니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 자동화된 사용자 친화적 검사를 제공합니다. 여기에는 마스크 결함 인식 및 미세 패턴 검사를위한 고해상도 이미징 및 2 차원 (2D) 및 3 차원 (3D) 웨이퍼 표면 측정과 같은 기능이 포함됩니다. NIKON OPTISTATION 3 A는 안정성과 정확성을 높이는 고급 빔 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 통합된 자동 광 정렬 (optical alignment) 및 자동 초점 (auto-focus) 시스템은 설정 시간을 줄이고 이미지의 정확성을 향상시킵니다. 이 장치는 또한 환경 요인으로 인한 광학 에너지 분산 및 이미지 드리프트를 방지하는 질소 퍼지 챔버 (nitrogen purge chamber) 를 특징으로합니다. 이 기계는 다양한 이미징 기술을 특징으로하며 마스크 패턴 충실도, 결함 및 변형을 0.5 미크론까지 모니터링합니다. Contact Holes, Logic Gate, Circuit, Specific Area 등 다양한 패턴을 자동으로 검사할 수 있습니다. 또한, 데이터 비교 소프트웨어는 정확한 측정을 보장하고 photomask의 불일치를 감지합니다. 이 도구는 최대 10 개의 검사 레시피를 저장할 수 있으며, 현미경은 자동 초점 (auto-focus) 기능을 갖추고 있으므로 각 마스크에 대한 수동 초점 설정이 필요하지 않습니다. 통합된 완벽한 레시피 변경 지원을 통해 Optistation 3A는 45초 미만의 빠른 웨이퍼 변경 시간을 제공합니다. 전체적으로 OPTISTATION 3 A는 정교한 이미징 기능을 갖춘, 강력하고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스, 통합 빔 (beam) 제공 모델, 정교한 이미지 인식 소프트웨어를 갖춘 NIKON Optistation 3A는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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