판매용 중고 NIKON Optistation 3100 #293807059

ID: 293807059
Wafer inspection system.
NIKON Optistation 3100은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마이크로일렉트로닉 부품의 전반적인 품질을 향상시키도록 설계되었습니다. 정밀 옵틱 (precision optics), 고급 소프트웨어 (advanced software) 및 최적화된 하드웨어 (optimized hardware) 의 독특한 조합을 통해 평면 패턴을 효율적으로 검사하고 분석할 수 있습니다. NIKON OPTISTATION-3100은 탁월한 이미지 선명도, 감지, 프로세스 자동화를 제공하여 최고 해상도의 이미징을 구현합니다. Optistation 3100은 반전된 옵티컬 장치를 사용하여 깨끗하고 선명한 이미지를 제공하는 고성능 옵틱 시스템 (Optics System) 을 갖추고 있습니다. 이 기계는 동력 확대/축소 렌즈, 2 차원 XY 스테이지 및 레이저 자동 초점 도구를 사용하여 광학 속성을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이러한 optic 조합을 통해 최대 광학 자산 배율은 2000x, 이미지 크기는 최대 256 micron입니다. OPTISTATION-3100에는 결함을 25 나노미터까지 감지 할 수있는 고급 이미징 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다. NIKON Optistation 3100은 수동 (manual) 단계와 자동 (automated) 단계를 모두 제공하여 뛰어난 유연성을 제공합니다. 수동 스테이지는 간단한 카메라 조정 및 빠른 웨이퍼 로딩을 허용합니다. 자동화된 단계는 결함 분석 (Defect Analysis) 및 이미지 획득 (Image Acquisition) 을 위해 프로그래밍되어 운영자가 필요하지 않습니다. 자동 스테이지에는 스팟 크기, 이미지 크기, 스테이지의 웨이퍼 배치, 현미경의 스테이지 위치 등 4 가지 조정 가능한 4 방향 매개 변수가 제공됩니다. 이 NIKON OPTISTATION-3100 기능은 복잡하고 복잡한 패턴을 검사하는 데 이상적입니다. Optistation 3100에는 고품질 이미지 캡처를 제공하는 고해상도 CCD 카메라가 있습니다. 카메라는 Optistation의 고급 소프트웨어 플랫폼에 연결되어 있으며, 이 플랫폼은 검사, 분석, 데이터 관리 도구를 제공합니다. 사용자가 각 특정 웨이퍼를 검사하기 위한 매개 변수와 임계값을 지정할 수 있도록 소프트웨어를 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). OPTISTATION-3100은 긴급 차단 모델 (Emergency Shutoff Model), 조절 가능한 발 스위치, 광학 안전 커버를 포함하여 안전성을 염두에 두고 설계되었습니다. 장비는 사용하기 쉽고 최소 운영자 교육이 필요합니다. 분주한 실험실이나 프로덕션 (production) 환경의 거울을 견디도록 설계되었습니다. NIKON Optistation 3100은 긴 시간에 걸쳐 마스크, 웨이퍼 및 결합 집적 회로를 검사하는 데 이상적입니다.
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