판매용 중고 NIKON Optistation 3000 #9372005

NIKON Optistation 3000은 차세대 반도체 제품의 높은 정확도, 높은 처리량을 생산하도록 설계된 완전 자동화 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고성능 목표와 가시성 (visible) 및 적외선 (infrared) 감광 광센서 (photosensor) 로 구성된 고급 광학 이미징 장치를 갖추고 있습니다. 고유한 프로세스 제어 머신, 정확한 위치 지정, 자동화된 에지 찾기 알고리즘을 활용하는 Optistation 3000은 웨이퍼와 마스크를 정확하고, 자동화된 자동 검사합니다. NIKON Optistation 3000의 중심에는 정확한 3D 스캔 도구와 고급 소프트웨어 알고리즘이 있습니다. Optistation 3000은 직경이 큰 오브젝티브 렌즈 (objective lens), 고성능 포지셔너 (positioner) 및 고급 소프트웨어 루틴을 활용하여 광역 결함을 감지하고 측정할 수 있으며, 나노미터 배율 (nanometer scale) 에 따라 극도로 작고 지역화된 결함을 측정할 수 있습니다. Edge Searcher를 포함한 2D 및 3D Edge Find를 사용하여 NIKON Optistation 3000은 자동으로 웨이퍼 또는 마스크의 가장자리를 찾아 검사 경로를 적절하게 실행합니다. Optistation 3000에는 고유한 맞춤형 편광 모듈이 장착되어 있어 광학 특성, 측정, 결함 감지 (Defect Detection) 등을 정확하게 사용할 수 있습니다. 마찬가지로, 에셋에는 샘플 서피스에서 감지된 수직 높이 차이 (vertical height difference) 에 따라 지속적으로 모니터링하고 포커스를 조정할 수있는 통합 포커스 추적 (focus-tracking) 모델이 장착되어 있습니다. NIKON Optistation 3000은 또한 정교한 감사 추적 라이브러리를 통해 자세한 검사 결과, 프로덕션, 프로세스, 운영자 및 로트 ID 정보를 저장하고 문서화합니다. 또한, 이 장비는 샘플 오버레이 맵을 검사하고 OSML 마스크 초점 값을 검사하기 위해 고품질 선형 측정 패키지 (옵션) 를 제공합니다. 요약하자면, Optistation 3000은 강력하고 신뢰할 수 있는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 높은 정확도, 높은 처리량 생산 환경을 제공합니다. 큰 직경의 오브젝티브 렌즈, 고급 광학 이미징 및 편광 장치, 고유한 프로세스 제어 알고리즘을 갖춘 NIKON Optistation 3000은 정확하고 안정적인 성능을 제공합니다.