판매용 중고 NIKON Optistation 3000 #9300983

NIKON Optistation 3000
ID: 9300983
Inspection system.
NIKON Optistation 3000은 고급 컴퓨팅 기반 반자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최소 운영자 개입으로 고속 단일 웨이퍼 및 마스크 검사를 수행하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 전자 빔 이미징 기술 (electron-beam imaging technology) 과 고급 알고리즘을 사용하여 표면 및 내부 결함 검사를 수행합니다. Optistation 3000 장치는 단 몇 초 만에 전체 칩 입자 검사를 수행 할 수 있으므로 베어 웨이퍼 (Bare Wafer), 얇은 웨이퍼 (Thin Wafer) 및 포토 마스크 기판을 하나의 머신으로 검사하는 데 이상적입니다. NIKON Optistation 3000 도구는 큰 진공실을 사용하여 검사 중에 연속적이고 안정적인 환경을 유지합니다. 결과적으로 외부 장애없이 매우 정확하고 반복 가능한 스캐닝 프로세스가 수행됩니다. 에셋은 또한 디지털 스캔 컨트롤러 (digital scan controller) 와 2 축 동력 모델을 통합하여 검사 프로세스를 매우 정확하게 제어합니다. Optistation 3000은 고해상도 전자총과 고순도 광학 장비를 포함하는 페어링 된 전기 광학 기둥으로 구성됩니다. 이 설정은 매우 높은 해상도의 이미지와 하위 마이크로미터 수준의 이미지 해상도를 제공할 수 있습니다. 이 시스템에는 이미지 처리 작업을 처리하기 위한 최첨단 디지털 신호 프로세서도 포함되어 있습니다. 이러한 정밀 옵틱, 고해상도 이미징, 고급 신호 처리의 조합을 통해 NIKON Optistation 3000은 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 재료의 가장 미묘한 차이점을 감지할 수 있습니다. 이 장치에는 설치와 작동이 용이한 여러 자동 검사 프로그램이 포함되어 있습니다. 사용자는 이러한 프로그램을 사용하여 사용자 지정 검사 (customized inspection) 프로토콜을 빠르게 설정하고 시스템을 자동으로 실행하도록 할 수 있습니다. 따라서 수작업이 필요하지 않으며, 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 검사 정확도를 더욱 향상시키기 위해 Optistation 3000에는 스캐닝 전자 현미경도 포함됩니다. 이 현미경은 검사 된 재료의 고품질 이미징을 허용하기 위해 도구 내에 통합되었습니다. 이 현미경은 검사 된 재료의 모든 성분 및 물리적 특성 (물리적 특성) 에 대한 자세한 이미지를 제공하므로 더 정확한 결함 감지가 가능합니다. 마지막으로 NIKON Optistation 3000에는 직관적인 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 UI를 사용하면 다중 검사 프로토콜, 고급 이미지 조작, 사용자 정의 장애 감지 알고리즘을 통합할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 자산을 특정 검사 요구에 맞게 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다.
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