판매용 중고 NIKON Optistation 3000 #9269043

NIKON Optistation 3000
ID: 9269043
Inspection system Wafer handler (Semi-auto).
NIKON Optistation 3000은 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로, 웨이퍼, 마스크에 대한 자세한 분석 및 결함 감지 기능을 제공합니다. 소미크론 결함과 작은 핀홀 (Pinhole) 과 긁힘 (Scratch) 을 몇 초 안에 감지하여 결함 검사 프로젝트에 대한 짧은 처리 시간을 허용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 400mm x 400mm 통신 회절 광학 기계 (고급 400mm x 400mm) 를 포함하여 강력하고 전문화 된 광학을 사용하며, 이 시스템은 확대 된 시야와 높은 수준의 왜곡 보정을 제공합니다. 광학 장치 (optics) 는 샘플에서 정보를 효율적으로 전송하여 정확하고 안정적인 이미지 캡처를 제공합니다. 또한, Telecentric Optics는 조절 가능한 반음계 수차 보정을 제공하여 전체 프레임에서 뛰어난 화질을 제공합니다. Optistation 3000은 자외선, 가시 파장, 적외선 파장 등 다양한 조명 스펙트럼을 생성하는 광원을 사용합니다. 따라서 웨이퍼, 마스크, 집적 회로의 멀티밴드 (multiband) 이미징을 통해 다양한 결함을 파악하고 분석할 수 있습니다. 또한, 광원은 또한 편광 영상 (polarization imaging) 을 허용하며, 이는 정상적인 조명에서 보이지 않는 결함을 나타내는 데 사용됩니다. 이 도구에는 신호 대 잡음비가 뛰어난 3 메가 픽셀 CMOS 컬러 카메라와 매우 넓은 동적 범위가 장착되어 있습니다. 이를 통해 탁월한 선명도로 섬세한 세부 사항을 신속하게 캡처 할 수 있습니다. 또한 통합 시간을 조정하면 노이즈가 적은 이미징이 가능합니다. NIKON Optistation 3000은 전체 검사 프로세스를 완전히 자동화하여 운영자가 결함 식별 (Defect Identification) 및 분석 (Analysis) 에 집중할 수 있도록 합니다. 이 자산은 시간에 민감한 결함 분석, 마스크/웨이퍼 검사 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 광학 장치, 멀티밴드 이미징 (multiband imaging) 및 조절 가능한 통합 시간을 통해 정밀 엔지니어링에서 귀중한 툴이 됩니다.
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