판매용 중고 NIKON Optistation 3 #9386051
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NIKON Optistation 3은 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비로, 반도체 산업의 품질 및 생산 프로세스를 모니터링하도록 설계되었습니다. 이 완전 자동 플랫폼 (Fully Automated Platform) 은 패턴화된 웨이퍼 (patterned Wafer) 와 중복되지 않은 웨이퍼 (Unpatterned Wafer) 및 마스크 (Mask) 에 대한 정적/동적 검사를 모두 최고 정확성과 정확도로 빠르게 수행할 수 있습니다. NIKON OPTISTATION-3은 어레이 검사를 위한 A/I (Automated Inspection), 해독 백사이드 검사, 3D 프로파일링 및 하향식 검사와 같은 수많은 고급 이미지 및 감지 기술을 사용합니다. 우수한 해상도의 스캐닝 암과 최신 센서를 통해 결함 검사 (옵션) 가 가능하며, 일부 모델은 1nm 해상도를 제공합니다. 이 플랫폼은 POLIS (Picture-Optimized Logic Inspection System) 와 쌍을 이루어 검사 프로세스를 탐색하고 발생할 수있는 모든 불일치를 신속하게 식별합니다. 또한 폴리스 (POLIS) 는 다양한 이미지 알고리즘을 통해 검증할 수 있는 리치 (rich) 규칙 세트를 사용하여 검사 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 런타임 분석 머신 (runtime analysis machine) 이 내장되어 있어 검사 조건을 실시간으로 확인하고 최적화할 수 있습니다. 유연성과 사용 편의성을 높이기 위해 Optistation에는 0.28 "SLR (Single Lens Reflex) 카메라가 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 각 인스턴스의 다양한 각도와 뷰 포인트 (view point) 를 선택할 수 있으며, 가장 작은 마이크로 결함에서도 결함을 찾을 수 있습니다. 또한 G2 및 이중 대비 검사 (Dual Contrast Inspection) 기술을 통해 미세한 결함의 모양과 크기를 인식하고 미세한 개선이 가능합니다. 또한 Optistation 3에는 가동 중지 시간을 줄이는 몇 가지 기능이 있습니다. 자동 초점 (AutoFocus) 및 자동 매핑 (AutoMapping) 기능을 사용하면 전체 검사 과정에서 동일한 위치에 웨이퍼를 정렬할 수 있으며, 자동 조정 (AutoCalibration) 을 통해 여러 세션에서 공구의 해상도와 배율을 정확하게 유지할 수 있습니다. 결론적으로 OPTISTATION-3은 세련되고 신뢰할 수 있는 마스크, 웨이퍼 (wafer) 검사 자산으로, 사용하기 편리하면서도 뛰어난 유연성, 정확성, 성능을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic), 탐지 (Detection) 및 자동화 (Automation) 기능을 통해 모델은 고품질 검사 결과와 생산에 대한 빠른 처리 속도를 보장하여 효율적인 반도체 생산 및 제조를 가능하게 합니다.
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