판매용 중고 NIKON Optistation 3 #9171326

NIKON Optistation 3은 아트 전자 마스크 및 웨이퍼 검사 장비의 상태입니다. 또한 까다로운 반도체 IC 의 광학 검사에 필요한 높은 정확도, 고속, 데이터 정확도를 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다 (영문). 이 시스템은 완전하게 자동화된 마스크 또는 웨이퍼 정렬 도구 (wafer alignment tool) 로, 고정밀도 이미징 및 마스크 및 웨이퍼 기능에 대한 자세한 측정을 가능하며 단위 정확도는 ± 1m입니다. 다양한 종류의 광학 검사 (optical inspection) 에 적합한 다양한 기능이 있습니다. NIKON OPTISTATION-3은 새로운 고정밀 12 인치 CCD 카메라를 자랑합니다. 이 카메라는 최대 1000배의 배율을 제공하며, 미세한 정밀도로 최대 6.3mm의 시야를 제공합니다. 0.5X ~ 1000X 사이에서 조정 할 수있는 3 축 모터 동작 머신과 제공된 배율 파워를위한 제어 도구 (Control Tool) 가 특징입니다. 또한 해상도가 높은 이미지에 20 초 동안 노출 시간을 제공합니다. CCD 카메라의 안정성 (Stability of the CCD Camera) 은 까다로운 작업에 가장 적합한 주요 기능 중 하나입니다. Optistation 3은 또한 3개의 동시 전자 빔 검사 모드를 갖춘 다양한 검사 기능을 제공합니다. 여기에는 회로 패턴을 검사하기위한 반점 검사, 웨이퍼 구조를 검사하기위한 글로벌 표면 검사, 검사 범위를 넓히는 주변 장치 필드 검사 (peripheral field inspection) 가 포함됩니다. 또한 여러 레이어의 밀접하게 마스크된 패턴을 비교할 수 있는 이미지 오버레이 (image overlay) 기능을 제공합니다. 마스크 및 웨이퍼 검사의 정확성을 극대화하기 위해 OPTISTATION-3은 통합 충돌 방지, 정확한 필드 일치, 자동 초점 정렬 기능을 제공합니다. 특히, 통합 충돌 방지 기능 (Integrated Anti-Collision Function) 은 광학과 검사 대상 간의 충돌을 피함으로써 더 큰 정확도를 확보하고 잘못된 데이터를 제거합니다. 검사 작업의 정확성과 효율성을 더욱 높이기 위해, NIKON Optistation 3은 모든 기능을 갖춘 최적화된 데이터 획득 및 분석 자산을 갖추고 있습니다. 또한 다양한 데이터 분석을 수행할 수 있으며, 데이터 보고서를 생성할 수도 있습니다. 마지막으로 NIKON OPTISTATION-3은 내구성이 매우 뛰어난 모델입니다. 이 장비는 오랜 기간 동안 안정적이고 안정적으로 설계되었으며, 무중단 업무 운영 (Continuous Operation) 에 이상적입니다.