판매용 중고 NIKON Optistation 3 #9065307
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ID: 9065307
빈티지: 1991
Wafer inspection system
Missing:
Some side panels and optics
1991 vintage.
NIKON Optistation 3은 고급 반도체 제조를 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 마스크 (Mask) 또는 웨이퍼 (Wafer) 의 전체 영역에 걸쳐 결함을 감지하는 데 있어 최고 수준의 성능과 일관성을 제공합니다. NIKON OPTISTATION-3은 고급 CPU 및 메모리 칩과 같은 고정밀 회로를 검사하는 데 적합합니다. Optistation 3은 다크 필드 (dark field) 와 하프 필드 조명 (half-field illumination) 을 포함한 고급 조명 기술을 사용하여 고화질 광학 및 고급 신호 처리 기술과 결합하여 서브 미크론 해상도를 달성합니다. 이 디자인은 입자를 0.12 미크론까지 검출 할 수 있으며, 표면 결함의 검출을 향상시키기 위해 특수 산란광 탐지기 (scatter-light detector) 를 특징으로합니다. 또한 8 비트 디지털 하이라이트 및 자동 색조 조정으로 색상 재생이 향상되었습니다. OPTISTATION-3은 50nm 폭의 시야 (field of view) 및 고속 스테이지 (stage) 구동 기능을 갖춘 높은 처리량을 제공하여 관리자들이 정확하고 정확하게 더 넓은 영역을 빠르게 스캔할 수 있습니다. 또한, 파형 디스플레이 (waveform display) 와 자동화된 결함 판단을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 빠르고 쉽게 시스템을 작동할 수 있습니다. NIKON Optistation 3은 또한 최적의 표면 청결을 위해 고급 오염 물질 검출뿐만 아니라, 임플란트, 저항 및 입자를 검사하기위한 자동 파편 인식 기능이있는 외국 물질 분석을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 통합 이미지 처리, 온스크린 측정, 사후 검사 데이터 분석 및 외부 PC로 내보내는 기능도 갖추고 있습니다. NIKON OPTISTATION-3은 반도체 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. 고급 조명 기술, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 결합된 고성능 옵틱으로, 고급 칩셋에 이상적인 선택입니다. 높은 처리량, 자동 결함 판단 (automated defect judgment) 및 외국 재료 분석 기능으로 미세 정밀 칩 제조 및 검사를위한 강력한 도구가되었습니다.
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