판매용 중고 NIKON Optistation 3 #293594406
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293594406
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Wafer inspection system, 8"
(5) Objectives
Turret
Power unit box
1998 vintage.
NIKON Optistation 3은 반도체 제작 중 저항, 스퍼터 필름, 석판 처리 및 웨이퍼를 효율적이고 신뢰할 수 있도록 설계된 종합 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 여기에는 인라인 (inline) 및 오프라인 (offline) 구성과 다양한 마스크 및 웨이퍼 유형을 지원하는 모듈식 디자인이 포함됩니다. NIKON OPTISTATION-3 시스템의 핵심은 고출력 옵티컬 유닛으로, 고급 옵티컬 헤드와 4 개의 이미징 레벨을 갖추고 있습니다. optics는 NIKON 고급 광대역 다중 세그먼트 LED 조명과 최대 5 배 광학 줌을 사용합니다. 최대 16 "x 20" 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 시야를 검사할 수 있으며 단일 노출로 0.2m까지 기능을 감지 할 수 있습니다. 또한 고속 이미지 처리, 분석 (analysis), 프로세스 제어 (automated process control) 등의 고급 소프트웨어 기술을 통해 더욱 빠르고 정확한 검사를 수행할 수 있습니다. 고속 이미지 캡처와 3D SIC (Spatial Image Correlation) 기술은 잘못된 양성을 제거하지만 PMT (Pattern Matching Technology) 는 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한 Optistation 3에는 실험실 및 인라인 검사 (inline inspection) 요구를 모두 지원하는 일련의 검토 및 로깅 도구가 포함되어 있습니다. 여러 마스크 이미지와 여러 웨이퍼 레이어 (Wafer Layer) 간에 데이터 상관 관계를 비교할 수 있습니다. 또한 통합 데이터베이스 (Integrated Database) 를 통해 검사 결과를 신속하게 검색하고 저장할 수 있습니다. 이 기계는 SEMI 사양을 준수하며, 처리 시간 단축, 비용 절감을 위해 설계되었습니다. 광범위한 호환성을 통해 GDSII 파일 스트리밍, 설계 레이아웃 비교 등 다른 공장 자동화 프로세스와 통합할 수 있습니다. 마지막으로, 직관적인 사용자 인터페이스와 포괄적인 설명서를 통해 OPTISTATION-3을 손쉽게 사용, 운영할 수 있습니다. 요약하자면, NIKON Optistation 3은 강력하고, 유연하며, 신뢰할 수 있는 마스크 및 웨이퍼 검사 도구로서 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. 고출력 광학 자산, 고급 소프트웨어 기술, 검토/로깅 (review/logging) 툴을 통해 여러 반도체 제조 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, SEMI 사양, 광범위한 호환성 및 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 준수함으로써 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 요구에 적합한 솔루션이 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다