판매용 중고 NIKON NRM2 #9148415

NIKON NRM2
ID: 9148415
Overlay measurement system.
NIKON NRM2는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 웨이퍼 결함을 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 이미징 기술과 자동 광학 및 석판 검사를 결합하여 운영자가 웨이퍼 형상, 지형, 평면도 및 기타 기능을 평가할 수 있습니다. NRM2에는 인치당 4,000 픽셀 이상의 해상도를 제공하는 고배율 옵틱이 장착되어 있습니다. 내장 3D 레이저 스캔 시스템을 사용하면 입자, 긁힘, 구덩이, 기타 불규칙성 등과 같은 결함을 최적화할 수 있습니다. 고급 이미지 수정 기능과 결합된 향상된 정밀도 (precision combined with advanced image correction capability) 는 일상적인 분석 중에도 작은 알갱이 및 기타 마이크로 레벨 결함을 감지 할 수 있습니다. NIKON NRM2는 또한 결함이없는 웨이퍼를 보장 할 수있는 패턴 인식이 가능합니다. 자동화된 확대/축소 기능, 향상된 결함 인식 알고리즘, 자동 도량형 분석, 전산 석판화 측정 도구 등 다양한 기능을 제공합니다. 자동 결함 감지 (Automated Defect Detection) 도 지원되며, 최첨단 결함을 개선하기 위한 초고해상도 이미징도 지원됩니다. 고급 자동화 기능으로 NRM2의 사용성과 성능도 향상되었습니다. 강력하면서도 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 작업을 단순화하고 신속하게 수행할 수 있습니다. 사용자는 능률적인 워크플로우 관리 기술을 활용하여 완벽한 제어 및 정확성으로 검사 (inspection) 프로세스를 안내합니다. 자동 검사 외에도 NIKON NRM2에는 나노 미터 레벨에서 결함을 감지, 분류, 검색 할 수있는 고급 이미지 조작 시스템 (Advanced Image Manipulation System) 이 장착되어 있습니다. 이 고급 기능은 하단 패턴 평가 (bottom pattern assessment) 에서 계층 별 웨이퍼 검사 (layer-by-layer wafer inspection) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션별 결함 감지 기능을 지원합니다. NRM2 의 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technologies) 과 자동 검사 (Automated Inspection) 는 물리적 특성을 기반으로 웨이퍼를 감지하고 평가하는 데 강력하고 효율적인 도구입니다.
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