판매용 중고 NIKON NRM-3100 #9401531

NIKON NRM-3100은 매우 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 뛰어난 정확도로 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 나노미터 수준의 결함을 해결할 수있는 매우 민감한 고해상도 미니 리소그래피 (mini-lithography) 시스템이 있습니다. 이 장치는 50nm 해상도, 4,500: 1의 Nano-overexposed Detection Dynamism 및 시간당 최대 4,500 웨이퍼의 높은 처리율을 자랑합니다. NRM-3100 은 레티클 (reticle) 및 웨이퍼 (wafer) 검사 및 확장 가능한 플랫폼에 모두 사용될 수 있으며, 동일한 장치에서 작은 패턴과 큰 패턴을 모두 감지할 수 있습니다. NIKON NRM-3100에는 마스크/웨이퍼 검사 프로세스를 가속화하고 완료에 소요되는 시간을 최소화하는 AOS (Automated Operation Machine) 가 내장되어 있습니다. 자동 패턴 인식 (Automated Pattern Recognition), 결함 인식 (Defect Recognition) 및 분석 (Analysis) 을 사용하여 몇 분 안에 종합적인 검사 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 패턴, 값, 결함의 정확도가 높은 고속 자동 (high-speed automatic) 을 통해 모든 문제를 신속하게 파악하고 복구할 수 있습니다. NRM-3100 의 고급 Optic 툴은 자동 초점 이미지 획득 자산 (Auto Focus Image Acquisition Asset) 과 프로그래밍 가능한 동력 단계 (Motorized Stage) 를 활용하여 검사 프로세스 전반에 걸쳐 정확성과 속도를 완벽하게 제어합니다. 이 모델의 탁월한 시야 (field-of-view) 는 운영자에게 웨이퍼 간 분산을 결정하는 데 최적화된 경험을 제공하도록 설계되었습니다. NIKON NRM-3100은 또한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 장비와의 사용자 상호 작용을 간소화합니다. 이 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 운영자는 시스템 설정을 빠르고 쉽게 보고 수정할 수 있으며, 따라서 빠른 처리 (turnaround) 시간 (performance time) 을 얻을 수 있습니다. 또한, NRM-3100은 NIKON 비 접촉 정적 결함 측정 모듈이 장착 된 유일한 유닛으로, 웨이퍼 모서리의 정적 결함을 정확하게 측정하고 기록합니다. 전반적으로 NIKON NRM-3100은 상세한 결과를 제공 할 수있는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 고급 미니 리토그래피 (Mini-Lithography) 도구가 장착되어 있으며, 작업을 빠르게 수행하기 위해 자동 작업 (Automated Operation) 을 지원하기 위해 가장 작은 결함을 감지하는 고해상도 검사를 제공합니다. 또한, 편리한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 정적 결함 측정 모듈은 NRM-3100을 정확하고, 안정적이며, 비용 효율적인 웨이퍼 검사에 이상적인 선택으로 만듭니다.