판매용 중고 NIKON NRM-3100 #9386878

ID: 9386878
Overlay measurement system.
NIKON NRM-3100은 경제적인 고해상도 표면 검사를 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반사된 옵티컬 시스템 디자인과 강력한 옵틱 및 카메라 옵션을 결합한 NRM-3100 은 최대 12 인치 (최대 12 인치) 의 넓은 시야에서 고해상도 이미징을 구현합니다. 이 장치는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 생산에서 일반적으로 발생하는 다양한 주요 지형 기능과 사람의 눈에 보이지 않는 자세한 결함을 검사 할 수 있습니다. NIKON NRM-3100에는 고급 옵틱과 전동식 스테이지가 장착되어 있어 대형 샘플의 정확한 이미징이 가능합니다. 광학 기계는 광대역 조명 소스, 렌즈 (lenses) 및 방사형 암으로 조절 가능한 z축 스테이지에 장착 된 고해상도 카메라로 구성됩니다. 방사형 암 (radial arms) 을 사용하면 대상 샘플을 사용하여 광학 도구를 쉽게 조정하고 정렬할 수 있습니다. 또한, 자동 초점 메커니즘은 측정 설정 시간을 줄이고, 모든 검사 단계를 통해 최고 해상도의 이미징을 보장합니다. NRM-3100은 밝은 필드, 어두운 필드 및 Koehler 조명 기술과 각 기술에 대한 LED 및 회절 격자 조명 소스를 결합하여 웨이퍼 및 마스크 검사에 대한 다양한 이미지 캡처 접근 방식을 제공합니다. 이 조명 소스의 조합은 신호 대 잡음비 (signal to noise ratio) 를 향상시키고 가장 어려운 결함까지도 더 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한, 다중 파장 기술 (Multiple wavelength technology) 을 통해 자산은 물리적 필터가 필요 없이 높은 감도로 다양한 결함 유형을 측정 할 수 있습니다. 또한 고급 비존 (No-Zone) 광학 및 멀티 샷 이미징 (Multi-Shot) 을 통해 샘플에서 발생하는 결함 피쳐를 정확하게 파악하고 찾기 위해 각 검사 사이트의 정확한 심도 측정이 가능합니다. 니콘 NRM-3100 (NIKON NRM-3100) 은 또한 독특한 듀얼 뷰 옵틱 (Dual View Optics) 모델을 갖추고 있으며, 허위 경보를 걸러내기 위해 동일한 검사 사이트의 여러 이미지를 서로 다른 각도에서 볼 수 있습니다. NRM-3100은 강력하고 유연한 검사 소프트웨어 패키지를 사용하여 검사 결과를 분석합니다. 이 고급 소프트웨어를 사용하면 마스크/웨이퍼 엔지니어가 잠재적인 결함을 신속하고 정확하게 파악할 수 있으며, 결함을 분류하기 위한 다양한 필터링 (filtering) 옵션을 제공하여 정확한 결함 수를 계산할 수 있습니다. 결국, NIKON NRM-3100 은 강력하고 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비로, 높은 해상도의 대형 샘플을 정확성과 신뢰성으로 가능하게 합니다. 고급 광학 및 이미징 기술을 결합하여, NRM-3100 은 까다로운 샘플을 검사할 때에도 최고 품질의 검사를 보장합니다.
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