판매용 중고 NIKON AMI-3300 #293670595

NIKON AMI-3300은 완전 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 신속하고 고해상도 검사를 제공합니다. AMI-3300은 16 비트 CCD 카메라와 결합 된 400mm 원격 중심 객관식 렌즈를 특징으로하여 마스크 및 웨이퍼 표면을 정확하게 검사 할 수있는 고해상도 이미징을 제공합니다. 시스템의 확장 가능한 확대, 작업 거리 및 시야 (field of view) 기능을 통해 레티클, 마스크, 미세 구조, 웨이퍼 등 다양한 샘플을 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. NIKON AMI-3300은 폐쇄 루프, 고해상도 나노미터 레벨 포지셔닝 및 반복 기능을 갖춘 500mm X-Y 스테이지의 전체 샘플 적용 범위를 제공합니다. 또한, AMI-3300 은 자동 포커스 (focus) 하위 단계를 갖추고 있으며, 다양한 샘플을 조정하기 위해 작업 거리 및 시야에 빠르고 정확한 변화를 제공합니다. NIKON AMI-3300 소프트웨어는 마스크 또는 웨이퍼에 필요한 모든 포커스 조정을 자동으로 수행하면서 포커스 캡처 (focal capture) 를 위한 포커스 위치를 측정합니다. AMI-3300에는 광범위한 결함을 감지, 분류, 정량화하는 기능을 제공하는 통합 결함 측정 장치 (integrated defect measuration unit) 가 포함되어 있습니다. 기계의 자동 모서리 감지, 색상 기반 모서리 감지 및 패턴 인식 기술은 선 모서리, 선 너비, 라인 피치, 평평, 오버레이 정밀도, 프로세스 불일치, 누출, 오버레이 등의 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 또한, 도구의 자동 모서리 교정 (automated edge correction) 기능은 석판화 (lithographic poxing) 로 인해 남은 모든 모서리 스테핑을 감지하여 성공적인 장치 스케일링에 필요한 정확하고 정확한 가장자리 선명도를 생성하는 데 사용됩니다. NIKON AMI-3300은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 소프트웨어를 통해 자산을 쉽게 설정하고 작동시킬 수 있습니다. 대형 21.3형 LCD 컬러 모니터는 모델의 메뉴와 작업을 빠르게 탐색할 수 있는 기능을 제공하는 반면, USB 및 네트워크 포트는 모든 외부 저장 장치를 빠르고 간편하게 연결할 수 있습니다 (영문). 이 장비에는 자동 작업 실행 (Automated Job Execution) 및 예약된 작업 실행 (Scheduled Job Execution) 기능이 포함되어 있어 나중에 사용할 수 있도록 측정 작업을 계획하고 저장할 수 있습니다. 전반적으로, AMI-3300은 강력하고 안정적인 검사 기능을 제공하는 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 조정 가능한 확대, 초점 하위 단계, 큰 X-Y 단계 및 자동 결함 측정 기능을 통해 NIKON AMI-3300은 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 강력한 솔루션입니다.