판매용 중고 NIKON 3A #9272638

NIKON 3A는 높은 처리량 검사 및 결함 분석을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 풀 샷 옵틱 (full-shot optics) 과 고광도 (high light intensity) 가 장착되어 있어 마스크와 웨이퍼의 고해상도 이미징이 가능합니다. 3A 설계는 가장 까다로운 프로세스 요구를 고려하여 전체 샷 (full shot) 을 검사하여 최대 25nm (feature) 크기를 스캔할 수 있습니다. NIKON 3A 장치는 웨이퍼 또는 마스크의 회전 단계와 고유 한 4 사분면 광학 기계를 통합 한 전동 모듈로 구성됩니다. 광학 도구는 광도 (Light Intensity) 와 명암비 (Contrast) 를 최적화하도록 설계되어 이미지 품질과 결함 감지 분야에서 최고의 성능을 제공합니다. 연산자가 검출 임계값 (detection threshold) 을 설정하고 다양한 로트 유형에 대해 자동으로 조정할 수 있도록 하는 낮은 파급 광도 (low ripple photometry) 를 통해 높은 감도와 대비를 달성하여 검사 경험을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이미징 측면에서 3A 자산은 다재다능합니다. 반사 마스크 및 전송 마스크 및 웨이퍼 모두를 검사하도록 구성 될 수 있습니다. 밝은 필드, 어두운 필드, 시뮬레이션 된 밝은 필드, 비스듬한 축 및 오프 축 조명을 포함한 여러 이미징 모드가 있습니다. 또한 1D, 2D 및 3D 모양의 결함을 인식하고 검사 할 수 있습니다. NIKON 3A 모델의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 초보자 사용자조차도 고급 기능 감지 기능을 이용할 수 있습니다. 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스로, 검사 장비를 특정 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 3A 시스템은 자동화된 패턴 인식 및 식별 알고리즘을 통합하여 결함의 형태와 크기를 신속하게 식별하고 분류합니다. 전반적으로 NIKON 3A는 마스크와 웨이퍼에 대한 효율적이고 매우 상세한 검사를 위해 설계된 독특한 검사 장치입니다. 고광도, 풀 샷 이미징, 조절 가능한 감지 임계값, 이미징 모드, 자동 패턴 인식 및 분류 알고리즘을 갖춘 3A (3A) 는 마스크 및 웨이퍼 검사 및 분석에 이상적인 기계입니다.