판매용 중고 NIKON 3 & 3A #54867
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NIKON 3 & 3A는 고급 반도체 장치의 대량 생산을 위해 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 정확하고 빠르게 결함을 파악하고, 신속하고 안정적인 검사 결과를 얻을 수 있습니다. 3 & 3A에는 인라인 및 오프라인 검사 기능이 있습니다. 오프라인 모드는 제품 개발, 사전/사후 작업 및 R & D에 사용됩니다. 인라인 모드는 전체 제품 검사에 사용됩니다. NIKON 3 & 3A의 고급 웨이퍼 위상 프로브 (wafer phase probe) 및 전폭 검사 기능을 통해 고급 반도체 장치를 검사하는 데 적합합니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 플랫폼으로 구성되어 운영자에게 장치의 독수리 시야 (eagle's eye view) 를 제공합니다. 카메라에는 최대 2048 × 1536 픽셀의 해상도를 가진 4 메가 픽셀 CCD (충전 커플 링 장치) 가 장착되어 있습니다. 정렬 센서는 최대 +/- 0.02 밀리미터까지 정확하므로 검사 중인 장치를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 장치 에는, 장치 의 표면 에서 가장 작은 결함 까지도 탐지 할 수 있는, 통합 결함 검사기 (integrated defect inspection machine) 가 장착 되어 있다. 이 공구는 몇 "나노 미터 '에서 여러" 마이크로 미터' 에 이르는 크기의 입자, 공백 및 기타 결함을 감지 할 수 있습니다. 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 4· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 3· 4 대· 4 대· 4 대· 4 대· 표면 품질 검사 모듈은 기울기 (tilt) 또는 뒤틀기 (warp), 마이크로 버클 (micro-buckles) 또는 장치 표면에서 입자 농도와 같은 표면 특성에 대한 측정을 수행 할 수 있습니다. 또한 3D 스트레스 매핑 및 거친 측정과 같은 고급 지표를 지원합니다. NIKON 3 & 3A는 직관적이고 인체 공학적 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 사용자 친화적입니다. 또한 손쉽게 확장이 가능하므로, 모듈을 더 추가하고 자산 (Asset) 의 기능을 점진적으로 향상시킬 수 있습니다. 3 & 3A는 고급 반도체 장치를 검사하기 위한 탁월한 선택입니다. 즉, 정확성, 속도, 사용자 친화성을 통해 가장 미세한 결함까지도 감지할 수 있는 안정적이고 효율적인 모델이며, 확장성 (Expandability) 을 통해 기기를 업그레이드할 수 있습니다.
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