판매용 중고 NIKON 2A #77230
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ID: 77230
웨이퍼 크기: 4", 5", 6"
Optistation, 4", 5" and 6", BD Plan 10x, 20x and 40x objectives.
NIKON 2A는 NIKON 광학 마이크로 일렉트로닉스 기술 팀에서 개발 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크, 웨이퍼, 독립형 필름에서 가장 정확한 셀룰러 회로 패턴 (cellular circuit pattern) 을 검사하도록 설계되었습니다. 2A의 코어는 2 개의 레이저 시스템을 통합 한 고급 광학 설계입니다. 첫 번째 레이저 시스템은 Koehler 기판 변형으로, 마스크, 웨이퍼 및 독립형 필름에서 미묘한 분 패턴 변형을 수집하도록 설계되었습니다. 두 번째 레이저 장치는 매우 높은 정밀 목표를 사용하여 작은 알갱이 (small grain) 및 어두운 필드 패턴 (dark-field pattern) 과 같은 잠재 결함을 정확하게 포착하고 1m 이하의 해상도를 제공합니다. 이 두 시스템을 완전 자동화 된 이미지 분석 머신과 결합하여 NIKON 2A는 복잡한 마스크, 웨이퍼, 독립형 필름을 포괄적으로 검사 할 수 있습니다. 고급 옵티컬 디자인과 자동화된 이미징 툴은 고대비 (high-contrast) 해상도와 더 넓은 시야를 통합합니다. 이를 통해 마스크 및 기판의 서브 미크론 패턴 및 결함을 빠르고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 또한, 2A (Scanning Asset) 옵션을 포함하여 제조 공정의 다양한 단계에서 기판의 동적 변환을 검사 및 분석 할 수 있습니다. NIKON 2A의 이미징 모델은 동시 2D 및 3D 정보를 제공하고 표면 및 매장 된 결함을 모두 감지 할 수 있습니다. 즉, 임의의 각도에서 결함 모양을 감지하고 자동으로 지정된 크기로 보정할 수 있습니다. 마지막으로, 장비는 크기, 모양 및 품질을 포함한 상세한 결함 분석을 제공합니다. 2A 에 적용된 강력한 하드웨어 설계는 안정성을 극대화하고 유지 보수가 간편합니다. 고급 자동화를 통해 쉽고 직관적인 설치, 직관적인 사용자 인터페이스 (user-interface) 를 통해 손쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 요컨대, NIKON 2A는 신뢰할 수 있고 매우 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 미세한 패턴 변형을 정확하게 식별하고 마스크, 웨이퍼, 스탠딩 필름의 잠재 결함을 감지 할 수 있습니다. 2A는 강력한 이미지 분석, 보정, 상세한 결함 분석, 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 견고한 설계는 최대의 안정성과 간편한 유지 관리를 보장합니다.
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