판매용 중고 NIDEC TOSOK TWi-5000 #9280891
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NIDEC TOSOK TWi-5000은 완전히 자동화된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 매우 강력한 이미징 기술 (Imaging Technology) 을 기반으로 구축되었으며, 단 몇 초 안에 가장 작은 결함까지도 감지하고 분석할 수 있습니다. 시스템의 고급 광학, 계산 능력, 지능형 알고리즘을 사용하면 입자, 표면 오염 물질, 박막 레이어 오염, 마스크 형상 결함을 감지하고 분류 할 수 있습니다. TWi-5000은 Analysis and Review Module과 Auto-Review Defect Classification Unit의 두 가지 기본 모듈을 제공합니다. 분석 (Analysis) 모듈은 샘플에 대한 자동화된 실시간 이미지 분석을 제공하여 각 검사 영역을 검토할 수 있으며 통계 표시기 (statistical indicator) 와 세부 결함 목록 (detailed defect list) 을 모두 제공합니다. 자동 검토 결함 분류 기계 (Auto-Review Defect Classification Machine) 는 복잡한 서피스 결함 패턴을 빠르고 정확하게 분류하고 그룹화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 또한 NIDEC TOSOK TWi-5000의 광학 검사 에셋과 동일한 선명하고 빠른 방식으로 SEM 이미지를 처리하며, 입자 유형 결함의 기하학적 모양을 빠르고 정확하게 결정할 수 있습니다. TWi-5000에는 10MP 해상도 카메라가 장착되어 있어, 원하는 배율로 샘플의 고해상도 이미지를 신속하게 캡처할 수 있습니다. 빠르고 강력한 4K (Synchronized 4K) 이미징 모듈을 통해 초고속 속도와 정확도로 가장 작은 결함을 포착할 수 있습니다. 또한 TWi 의 자동 초점 모델 (auto-focus model) 은 서피스의 재료 또는 마스크 크기가 변경될 때 항상 포커스를 맞춥니다. 또한 자동 이미지 캡처 (auto-image capture) 기능이 제공되며, 이 기능은 이미지를 가져와 조정이나 수동 조정 없이 상세한 결함 정보를 캡처합니다. NIDEC TOSOK TWi-5000은 대형 FOV 이미징 장비, 고급 결함 감지 알고리즘, 자동 결함 분석 도구 덕분에 새로 개발 된 마스크 검사 시스템도 제공합니다. 이 장치는 깨진 마스크 패턴을 빠르게 검색하며, 마스크 결함을 감지하기 어렵고, 검출하기 어려운 마스크 결함을 감지하여 전반적인 검사 및 검출 프로세스 (quality of inspection and detection process) 를 개선합니다. TWi-5000은 작동 편의성과 기동성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 이 시스템의 직관적인 소프트웨어 인터페이스와 사용자 친화적 환경은 운영, 설치, 사용자 정의가 용이합니다. 또한, 기존의 광원 반사 복합 현미경 (Reflective Compound Microscope) 과 오실로스코프 (Oscilloscope) 를 변경하는 데 사용되는 단일 도구를 사용하여 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. NIDEC TOSOK TWi-5000은 강력하고, 안정적이며, 사용자에게 친숙한 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 최고 수준의 품질 관리 기능을 제공합니다. 고급 이미징 기술, 고속 결함 감지 알고리즘, 자동 초점 함수 (auto-focus function) 를 통해 시간 없이 상세한 결함 분석 및 검사 프로세스를 수행할 수 있습니다. 또한 TWi-5000 은 손쉬운 유지 관리 및 운영을 위해 설계되었으며, 편리성과 정확성을 극대화하여 사용할 수 있습니다.
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