판매용 중고 NEUVIS IR2R #293608593
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NEUVIS IR2R (최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사) 장비는 매우 높은 정확도로 표면 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 적외선 분광법 (infrared spectroscopy) 의 특수 기능을 사용하여 맨눈으로 볼 수없는 결함을 감지합니다. 이 장치는 시간당 최대 10,000 개의 샘플을 제공 할 수 있으며, 크기는 5äm에서 70mm입니다. 사용자에게 쉽고 직관적인 작동이 가능한 7 인치 LCD 터치 스크린 디스플레이가 있습니다. 기계는 표면 결함을 감지하기 위해 5 가지 주요 기술을 사용합니다. 삼각 측량 (triangulation) 또는 구조화 된 광선 스캐닝 (structured light scanning) 과 같은 다양한 유형의 이미징 기술을 사용할 수있는 정적 또는 동적 측정이 가능합니다. 또한 SWLI (Scanning White Light Interferometry) 를 사용하여 웨이퍼의 서피스 프로파일을 측정하고 표면 재료의 특성을 측정하기위한 반사율 스캔, 조성 이미징 및 타원 측정을 수행합니다. 이 도구는 최대 대용량 부지를 확장하도록 설계되었으며 실리콘, 유리, 쿼츠, 세라믹, 스틸 등 다양한 기판에 적합한 고속, 비파괴 측정을 수행할 수 있습니다. 이 자산에는 고급 결함 인식 (Advanced Defect Recognition) 및 분석 (Analysis) 기능도 포함되어 있어 사용자가 신속하게 결함을 파악하고 특성화할 수 있습니다. 이 모델의 강력한 소프트웨어 제품군에는 결함 발생을 유발하는 기본 프로세스 식별 (Defect Identification) 및 판단에 대한 효율적인 접근 방식을 제공하는 일련의 AI 알고리즘 (AI Algorithm) 이 포함되어 있습니다. 장비의 고급 기능 중 일부에는 가장 최적의 결과를 식별하기 위한 사용자 지정 가능한 패스/실패 기준 (customizable pass/fail criteria), 검사된 샘플의 최적화된 3D 맵 및 자동 결함 분류를 위한 동적 패턴 인식 (dynamic pattern recognition) 을 생성하기위한 데이터 변환기 (data converter) 가 포함됩니다. 또한, IR2R에는 원격 모니터링이 제공되어 인터넷 연결 (internet connection) 을 통해 어디에서나 작업을 모니터링할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 사용자가 원격으로 작업할 때에도 처리 상태 (Processing Status) 에 대한 정보를 유지할 수 있습니다. 또한 유지 보수 툴과 성능 최적화 툴 (Performance Optimization Tools) 이 포함되어 있어 장치 문제를 쉽게 진단하고 최적의 성능을 보장할 수 있습니다. 전반적으로, NEUVIS IR2R은 신뢰할 수있는 결함 감지 및 분석 결과를 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 이 툴의 강력한 소프트웨어 제품군, 고속 측정 (high-speed measurements), 고급 결함 식별 (advanced defect identification) 및 원격 모니터링 (remote monitoring) 기능을 통해 광범위한 운영 환경에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.
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