판매용 중고 NAPSON RT-70 #9156821

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NAPSON RT-70
판매
ID: 9156821
Resistivity measurement system.
NAPSON RT-70은 IC 설계 및 생산에서 중요한 매개변수를 검사하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 웨이퍼 범핑, 정렬, 리소그래피, 도량형 및 결함 검사에 대한 높은 정확도, 속도 및 반복 성을 제공합니다. 이 시스템은 고급 옵티컬 센서와 고속 스캔 헤드 (scan head) 및 Corvis-7 소프트웨어 플랫폼을 통합합니다. 광학 센서는 풀필드 분광학 (full-field spectroscopy), 라인 스캐닝 (line scanning) 과 같은 여러 기술을 통해 실시간 데이터를 문서화하고 해석하며 웨이퍼 지형, 선/피치, 결함 등의 측정을 제공합니다. 고속 스캔 헤드 (High-Speed Scan Head) 는 넓은 시야와 고해상도를 갖추고 있어 IC 를 신속하게 현장 검사하고 전체 결함 검토 시간을 대폭 단축할 수 있습니다. Corvis-7 소프트웨어 플랫폼은 간편한 이미지 캡처, 데이터 분석, 데이터 익스포트를 지원하는 직관적인 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 사용자 중심의 검사 프로세스 자동화를 제공합니다. 또한 고객 요구 사항을 충족하기 위해 모든 수준의 도량형 (metrology) 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. RT-70 장치는 속도, 정확성 및 반복성에 대한 반도체 산업 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 대형 웨이퍼 처리 용량으로, 기계는 한 번에 최대 12 개의 웨이퍼를 최대 8 포인트 포커스로 검사 할 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 충돌, 접촉, 선, 피쳐가 철저히 검사됩니다. 이 도구의 마스크 정렬 기능도 매우 정확하고 반복 가능하며, 45nm 이하의 오버레이 성능을 제공합니다. 이 자산은 Cleanroom 환경을 위해 설계되었으며 SEMI 및 MIL-STD 등 다양한 국제 표준을 준수합니다. 또한, NAPSON RT-70 모델은 다양한 업계 표준 검사 소프트웨어 패키지와 호환되므로 기존 웨이퍼 처리 시스템에 신속하게 통합할 수 있습니다. RT-70 장비는 정확하고 반복 가능한 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 데이터 캡처, 분석, 익스포트를 위해 고정밀도 및 고속 스캔 헤드 기술, 풀 필드 분광법, 직관적인 GUI를 결합합니다. 직관적인 그래픽 인터페이스와 반도체 등급 기능을 갖춘 NAPSON RT-70 시스템은 반도체 제작 및 검사 요구에 적합한 선택입니다.
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