판매용 중고 NANOMETRICS Vertex #9379059

NANOMETRICS Vertex는 finFET 기술을 포함한 고급 프로세스 노드 및 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 고급 이미지 작업 및 고급 패턴 인식 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 활성 (Active) 및 수동 (Passive) 레이어 모두에 대한 웨이퍼 리소그래피 프로세스의 심각한 결함 감지를 개선하는 데 사용될 수 있습니다. 화질이 균일하고 선명하게 전체 밝기 (total brightness uniformity) 와 선명도 (sharpness) 를 통해 상하단 이미지를 얻을 수 있는 독보적인 이미지 획득 엔진으로 구성되어 있으며, 선명한 조명과 뛰어난 화질을 제공하는 고성능 옵티컬 모듈이 결합되어 있습니다. Vertex는 또한 몇 가지 고급 이미지 작동 기능으로 구성 될 수 있습니다. 그 중 하나는 특허를받은 IIT (Image Intersection Technique) 로, CARC (Conformal Anti-Reflective Coating) 및 마이크로 브리지 및 결함 퍼들과 같은 하위 해상도 기능을 감지 할 수 있습니다. 또한 결함 식별 및 분류를위한 컴퓨터 지원 프로세스 인 AMM (Analytical Matching Module) 이 제공됩니다. 이 시스템은 또한 고속 데이터 스토리지 용량, 온보드 다중 단계 결함 식별 엔진 (Multiple-Stage Defect Identification Engine) 으로 설계되어 효율성 및 정확성 향상, 자동 결함 검토 및 주석을 활성화합니다. 또한 데이터 획득 및 분석 엔진 (장애 분석), 손쉬운 작동 및 설정 (Easy Operation and Setup) 을 위한 드롭다운 메뉴, 다양한 응용프로그램 (Camera Head Module) 을 사용하여 구성할 수 있습니다. 마지막으로, NANOMETRICS Vertex는 자동화된 결함 검토 및 주석, 결함 추적 및 경향 분석을 위한 광범위한 자동화 솔루션과 통합될 수 있습니다. 또한 다양한 웨이퍼 레이어 (wafer layer) 및 도량형 작업에 대한 자동 결함 정렬 및 시퀀싱을 지원합니다.