판매용 중고 NANOMETRICS SDP-2000T #9354596
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NANOMETRICS SDP-2000T는 반도체 마스크와 웨이퍼 형상의 무결성과 정확성을 평가하도록 설계된 Mask and Wafer Inspection Equipment입니다. 이 시스템은 광학 이미지와 데이터 획득 기술을 사용하여 2D 및 3D 기능을 자동으로 측정할 수 있습니다. 그것의 길이와 각도 측정은 높은 반복성으로 수행 될 수 있으며, 생산 라인 신뢰성을 제공합니다. 이 장치는 두 개의 기본 모듈로 구성됩니다. 마스크 검사 검사 모듈 및 웨이퍼 검사 모듈. [마스크 검사 모듈] 에는 자동 정렬 기능이 포함되어 있으므로 여러 마스크를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, 최대 40 배의 보간과 격리 된 결함에 대한 광학 검사가있는 마스크 정렬 및 오버레이 측정을 제공하는 웨이퍼 (wafer) 를 제공합니다. 웨이퍼 검사 모듈 (Wafer Inspection Module) 은 플랫 웨이퍼와 스텝 웨이퍼를 모두 검사할 수 있습니다. 기계는 2D 서피스 매핑 기술을 사용할 수 있으며, 설정된 매개변수에 따라 제곱 밀리미터 당 40 ~ 200 개의 데이터 포인트를 얻을 수 있습니다. 측정 점은 쉽게 검색할 수 있도록 사용자 정의 영역에 정의될 수 있습니다. 검사 결과를 자동으로 공구에 저장하거나, 내부 데이터베이스로 처리하거나, 외부 데이터베이스로 내보낼 수 있습니다. 에셋에는 고급 이미지 처리 및 필터링 기능, 향상된 품질 제어 (Quality Control) 및 측정 된 패턴의 추가 분석이 포함됩니다. 또한 모델은 스테레오 또는 단일 뷰 투영, 3D 입체 디스플레이 등 다양한 디스플레이 모드를 제공합니다. 또한 유연성이 뛰어난 소프트웨어로, 사용자 정의 (user-defined) 설정이 가능하고 사용자가 작업을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 SDP-2000T는 마스크 검사와 웨이퍼 검사 모두에서 안정적이고 정확한 성능을 제공합니다. 그 유연성을 통해 기존 생산라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 고급 이미징 (Advanced Imaging) 기능을 통해 반도체 조각의 모양과 구성에 대한 정확한 정보를 제공할 수 있습니다. 따라서, 장비 는 품질 관리 (quality control) 용도 에 매우 유용 하여, 여러 가지 재료 에 대한 정확 한 측정 을 보장 할 수 있다.
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