판매용 중고 NANOMETRICS RPM Blue #293737540

ID: 293737540
System.
나노 메트릭 (NANOMETRICS) RPM 블루 (Blue) 는 검사 프로세스의 효율성과 정확성을 향상시키기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 (Optical Metrology) 와 이미징 (Imaging) 기능을 통해 사람의 머리카락 크기보다 작은 물체와 결함을 식별할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 광자 기술 (advanced photonics technology) 을 기반으로 하며 전면 (front) 과 후면 (back side) 마스크 및 웨이퍼의 패턴 형상을 측정할 수 있습니다. 이 장치는 고정밀 위치 지정 단계, 잘 정의 된 조명 기계 및 CCD 카메라로 구성됩니다. 포지셔닝 단계는 정밀 선형 모터 기반 X-Y 테이블을 기반으로하며 최소 ± 50 nm 이상이며 ± 10nm까지 반복 가능합니다. 조명 도구에는 할로겐, 형광, 수은 소스가 장착되어 있어 다양한 이미지 구성이 가능합니다. 에셋에는 이미지 해상도가 픽셀당 최대 1.3 um 인 고해상도 CCD 카메라가 추가로 장착되어 있습니다. 이 모델은 chrome-on-glass, chrome-on-quartz 및 chrome-on-metal을 포함한 다양한 마스크 유형을 처리하도록 설계되었습니다. 정교한 패턴 분석을 사용하여 자동으로 결함을 감지하고 식별하는 고급 결함 감지 (advanced defect detection) 알고리즘이 특징입니다. 입자 오염 물질, 얼룩, 결함, 리프팅 모서리, 열린 선, 누락된 선, 브리징 결함 등의 결함을 식별하고 측정할 수 있습니다. 이 장비는 가장 높은 품질의 측정값과 결함 감지 (defect detection) 성능을 제공하면서도 적당히 저렴한 비용으로 사용할 수 있도록 최적화되었습니다. 다양한 검사 매개변수를 제어하는 데 도움이 되는 드래그 앤 드롭 (drag-and-drop) 탐색을 통해 시스템의 사용자 인터페이스는 매우 직관적입니다. 이 장치는 다른 시스템 및 소프트웨어 툴과 통합하여 프로세스 최적화 (process optimization) 및 자동화 (automation) 를 지원합니다. 전반적으로 NANOMETRICS RPMBLUE는 매우 강력하고 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 머신으로, 고해상도 이미지, 정확한 측정, 결함 감지 기능을 제공합니다. 검사 (Inspection) 요구 사항을 충족하는 효율적이고 신뢰할 수 있는 도구를 원하는 모든 실험실 또는 제조업체에 적합한 선택입니다.
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