판매용 중고 NANOMETRICS RPM Blue #293602377
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나노 메트릭 RPM 블루 (NANOMETRICS RPM Blue) 는 최고 품질의 수준을 보장하기 위해 포토 마스크, 전자 빔 패턴 및 유전체 재료의 분석 및 검토에 사용되는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 최적의 성능, 초고해상도 이미징 및 분석을 위해 설계되었습니다. 빠르고 효율적인 데이터 수집을 위한 자동 웨이퍼 맵 갤러리 (Automated Wafer Map Gallery), 사소한 연속 재레이아웃 기능을 지원하는 유연한 사용자 인터페이스, 정교한 기능 인식 (Feature Recognition) 및 자동화된 결함 분류를 위한 다양한 알고리즘을 갖추고 있습니다. NANOMETRICS RPMBLUE는 또한 자동 초점 및 노출 설정을 통해 높은 수율 photomask 분석을 제공합니다. 프론트 엔드 광학은 조정 가능한 렌즈 포커스와 5 개의 프로그래밍 가능한 조리개 상태를 가지고 있습니다. 또한 고급 XY 정렬 기능 (advanced XY alignment feature) 을 갖춘 통합 스테이지 머신 (integrated stage machine) 과 동적 XY 샘플링 정밀도 (dynamic XY sampling accuracy) 를 사용하여 뷰 크기를 정확하게 조정하여 테스트 패턴의 크기를 정확하게 수용할 수 있습니다. 또한, 공구의 스펙트럼 필터는 즉석에서 조정할 수 있으며, 다양한 레이어의 스펙트럼이 풍부한 이미지를 제공합니다. RPM BLUE (RPM BLUE) 에는 Wafer 또는 Photomask 품질에 대한 더 나은 통찰력을 얻을 수 있도록 설계된 향상된 이미징 및 측정 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 에셋은 다이 크기, 산란 및 어두운 필드, 접촉 구멍, 선 너비 등 웨이퍼 이미지 특성의 테이블과 히스토그램 (histogram) 을 만들 수 있습니다. 또한 '여러 패턴' 을 빠르고 정확하게 비교할 수 있는 강력한 '통계 기능' 을 제공합니다. 이 제품에는 또한 고급 P.A.R.T. (Pattern Analysis and Review Toolkit) 가 포함되어 있어 사용자가 이상과 결함을 동적으로 식별하기 위해 다른 테스트 사양을 효율적이고 신속하게 평가할 수 있습니다. 또한 모든 데이터를 신속하게 저장, 검색 및 보고할 수 있는 "Information Management Tool" 도 함께 제공됩니다. 요컨대, NANOMETRICS RPM BLUE는 업계 표준을 능가하는 고급 기능과 결과를 갖춘 반도체 설계, 마스크, 웨이퍼 검사를 위한 원스톱 (one-stop) 솔루션입니다.
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