판매용 중고 NANOMETRICS NanoSpec TM 8000X #9260053
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판매
ID: 9260053
빈티지: 1999
Measurement system
Film stacks back / front: Poly, oxide and multilayer
Fourier Transform Infrared (FTIR) film analysis
Visible and UV reflectometer
Sophisticated modeling algorithms
Submicron precision XY table for silicon substrates: Up to 200 mm
High throughput multitasking robotics
SECS II / GEM Compliance
FTIR Module laser
Touch screen monitor
1999 vintage.
NANOMETRICS Nano Spec TM 8000X는 아트 마스크 및 웨이퍼 검사 장비의 상태입니다. 반도체 산업의 제조업체 및 연구 및 개발을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 도구와 기능을 제공하여 가장 까다로운 검사 작업에도 적합합니다 (영문). Nano Spec TM 8000X는 프로세스 제어 및 연구 목적으로 최적화되었습니다. 최적의 이미징 결과를 얻기 위해, 이 장치에는 25.6cm 직경의 검사 챔버, 30X 오브젝티브 렌즈 및 브라이트 필드 광원이 장착되어 있습니다. 정교한 하드웨어 및 소프트웨어 제어 구성 요소가 결합하여 여러 비디오 광도 범위 및 다양한 시야각 (field-of-view) 설정을 구현하여 최대 20m까지 측정할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec TM 8000X는 샘플 처리 기술의 최신 개발을 통합합니다. 웨이퍼 모터 드라이브 (Wafer Motor Drive) 와 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Mechanism) 가 제공되어 반복 가능하고 정확하게 중심이 지정된 샘플 배치를 보장합니다. XYZ 포지셔닝 머신은 컴퓨터로 제어되며, 선형 포지셔닝 툴을 사용하여 이미지 획득을 위해 샘플의 Z 위치를 시뮬레이션합니다. X, Y 및 Z 스테이지 증분은 추가 미세 초점을 위해 구성 될 때 0.1jm 또는 0.2m입니다. 또한 Nano Spec TM 8000X는 다양한 이미지 개선 도구를 제공합니다. 여기에는 2D FSC (2D Filtered Subtraction Correction), 프레임 평균, MCA (Mask Contrast Adjustment), 노이즈 감소 및 고급 이미지 캡처 자산이 포함됩니다. 이러한 기능을 사용하면 이미지 노이즈를 줄이고, 더 높은 정확도와 반복성으로 샘플을 측정할 수 있습니다. NANOMETRICS Nano Spec TM 8000X는 다양한 산업 프로토콜 및 표준을 준수합니다. 이 모델은 SEMI 표준 사양 E116 입자 오염 검사를 지원합니다. 표준에 대한 규정 준수는 통합된 Automated Defect Classification Engine 을 통해 충족됩니다. Nano Spec TM 8000X를 사용하면, 검사되는 모든 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 가 가장 높은 표준에서 정확하게 수행되고 있는지 확인할 수 있습니다. 이로써 시간과 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 자사 제품에 대한 업계의 요구 사항을 충족하고 원하는 결과를 얻을 수 있다는 자신감 (Confidence) 을 기업에 부여할 것입니다 (영문).
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